国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[633] アネルバマルチスパッタ 〔リンク〕

仕様・形式等について

アネルバ SPC-350 【仕様・特徴】1バッチ最大6枚搭載可能(回転機構付)、6インチターゲット×3(DC×2、RF×1:同時放電可能)、基板加熱形(最高650℃)、強磁性体対応、ロードロック付、クライオポンプ [設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター]


[633] アネルバマルチスパッタ  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本学に別途設置されている「 ナノテク融合技術支援センター【微細加工分野】 」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。

設置キャンパス

その他 マイクロシステム融合研究開発センター 西澤センター研究棟2階
アクセス方法はこちら

[633] アネルバマルチスパッタ  〔リンク〕 所在地マップ
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