国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[632] アルバックICP-RIE#2 〔リンク〕

仕様・形式等について

アルバック CE-300I 【仕様・特徴】SiO2、メタル、サファイアなどの多目的ドライエッチング、静電チャック、ガス:CF4、CHF3、SF6、Ar、O2、N2、Cl2、BCl3 [設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター]


[632] アルバックICP-RIE#2  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本学に別途設置されている「 ナノテク融合技術支援センター【微細加工分野】 」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。

設置キャンパス

その他 マイクロシステム融合研究開発センター 西澤センター研究棟2階
アクセス方法はこちら

[632] アルバックICP-RIE#2  〔リンク〕 所在地マップ
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