国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[459] JPEL PECVD 〔リンク〕

仕様・形式等について

日本生産技術研究所 VDS-5600 【仕様・特徴】SiN、SiO2、バッチ式:4インチ×13枚、6インチ×8枚〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕


[459] JPEL PECVD  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。上記受付窓口リンクページをご確認ください。

設置キャンパス

その他 マイクロシステム融合研究開発センター西澤センター研究棟2階
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[459] JPEL PECVD  〔リンク〕 所在地マップ
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