国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[364] 芝浦スパッタ装置(冷却形) 〔リンク〕

仕様・形式等について

芝浦メカトロニクス CFS-4ES-C.T. 【仕様・特徴】基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板冷却型〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕


[364] 芝浦スパッタ装置(冷却形)  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。

設置キャンパス

その他 西澤潤⼀記念研究センター研究棟2階
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[364] 芝浦スパッタ装置(冷却形)  〔リンク〕 所在地マップ
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