国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

[635] マスクレスアライナ〔リンク〕

仕様・形式等について

Heidelberg Instruments MLA150tt 【仕様・特徴】波長:405nm、最小描画線幅:1.0µm、高速直接描画、裏面アライメント可能、最大200mm角〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕


[635] マスクレスアライナ〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。

設置キャンパス

その他 西澤潤一記念研究センター 研究棟2階
アクセス方法はこちら

[635] マスクレスアライナ〔リンク〕 所在地マップ
より大きな地図で見る場合はこちらをクリックして下さい

学内向けページ

TSC星陵サテライト限定ページ

設備利用支援制度

東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

産学連携機構

トップへ戻る