国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[683] i線ステッパ 〔リンク〕

仕様・形式等について

キヤノン FPA-3030i5+ 【仕様・特徴】 基板サイズ 小片~8インチ、最小線幅 0.35μm以下、重ね合せ精度 40nm、両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応 〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕


[683] i線ステッパ  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。上記受付窓口リンクページをご確認ください。

設置キャンパス

その他 マイクロシステム融合研究開発センター西澤センター研究棟2階
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[683] i線ステッパ  〔リンク〕 所在地マップ
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