国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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[570] リソグラフィー関連(スピンコーター 1H-360S(EBレジスト用))

仕様・形式等について

ミカサ 1H-360S [設置部局:電気通信研究所]


[570] リソグラフィー関連(スピンコーター 1H-360S(EBレジスト用)) 画像

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