国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

仕様・形式等について

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕


[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム 画像

受付窓口

備考

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設置キャンパス

片平キャンパス 電気通信研究所 ナノ・スピン総合研究棟 1階クリーンルーム
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