国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

登録研究設備・機器

核磁気共鳴

[001] 800MHz超伝導核磁気共鳴装置 〔リンク〕

JNM-ECA800(日本電子)〔設置部局:理学研究科〕

[002] 核磁気共鳴装置(JNM-ECA700)

JNM-ECA700(日本電子)〔設置部局:理学研究科〕

[003] 核磁気共鳴装置(AVANCEⅢ700)

AVANCEⅢ700(Bruker BioSpin)〔設置部局:理学研究科〕

[004] 超伝導核磁気共鳴装置

600MHz,NMR 600TT型(Agilent(Varian))〔設置部局:農学研究科〕

[005] 3テスラ磁気共鳴装置

Intera Achieva 3.0T Quasar Dual(Philips)〔設置部局:加齢医学研究所〕

[006] 600MHz NMR装置①

自己遮蔽型 AVANCE600(Bruker BioSpin)〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[007] 800MHz NMR装置

Bruker BioSpin マルチシステム用800MHz〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[209] 核磁気共鳴イメージング装置 〔リンク〕

Bruker AVANCEⅢ400WB〔設置部局:医学系研究科〕

[285] 小動物用磁気共鳴イメージングシステム

Bruker BioSpin ICON 1T〔設置部局:医工学研究科〕

[286] 立位全身核磁気共鳴イメージング解析装置

ESAOTE G-scan brio〔設置部局:医工学研究科〕

[310] NMR装置 AVANCEⅢ600 〔リンク〕

Bruker BioSpin AVANCEⅢ600

[312] 超伝導核磁気共鳴装置 〔リンク〕

Bruker BioSpin AVANCEⅢ 400R(特別仕様)〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[372] 600MHz NMR装置②

Bruker BioSpin 自己遮蔽型 AVANCE600〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[408] 簡易測定用NMR

Varian 400-MRTT型〔設置部局:農学研究科〕

[531] 超伝導核磁気共鳴装置 〔リンク〕

JEOL JNM-ECA600 〔設置部局:工学研究科〕

X線分析

[011] X線構造解析装置(CCD搭載高輝度X線構造解析システム)

ULTRA/THK(BrukerAX)〔設置部局:理学研究科〕

[012] X線構造解析装置(単結晶自動X線構造解析装置)

Vari Max with RAPID(リガク)〔設置部局:理学研究科〕

[026] 超精密格子定数測定用X線回折装置

SuperLab(リガク)〔設置部局:電気通信研究所〕

[027] 高分解能X線回折装置

X`Pert PRP MRD(PANalytical/Spectris(Philips Analytical))〔設置部局:電気通信研究所〕

[068] 多目的X線結晶構造解析システム

SmartLab 3G(リガク)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[069] 多目的X線結晶構造解析システム

VariMax DW with IP(リガク)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[226] マイクロフォーカスX線CT装置(ScanXmate-E090)

コムスキャンテクノ ScanXmate-E090〔設置部局:歯学研究科〕

[251] X線回折装置 一式 〔リンク〕

BrukerAX D8 DISCOVER〔設置部局:工学研究科〕

[275] 多機能薄膜X線回折装置 D8DISCOVER-TM 一式

BrukerAX D8DISCOVER-TM〔設置部局:工学研究科〕

[279] 全自動波長分散型蛍光X線分析装置 〔リンク〕

BrukerAX S8 TIGER(1kW)〔設置部局:工学研究科〕

[311] 波長分散型蛍光X線分析装置 1式 〔リンク〕

リガク ZSX Primus Ⅱ-TX 〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[365] 差動排気型光電子分光分析(XPS)装置

ScientaOmicron R4000-Hipp2型〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[366] 薄膜表面評価用インプレーンX線回折装置

リガク SmartLab 90TF〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[386] インプレーンX線回折装置 ATX/in-plane

リガク ATX/in-plane〔設置部局:工学研究科〕

[387] 薄膜構造評価用X線回折装置 ATX-G/TS

リガク ATX-G/TS〔設置部局:工学研究科〕

[388] 全自動蛍光X線分析装置 RIX2100

リガク RIX2100〔設置部局:工学研究科〕

[416] X線位相スキャナ

〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[521] ESCA分析装置 〔リンク〕

アルバック・ファイ Model 3057VC 〔設置部局:工学研究科〕

[528] X線装置 〔リンク〕

パナリティカル 〔設置部局:金属材料研究所〕

[529] 多目的X線回折複合システム

リガク SmartLab9MTP、RASCO 3M 〔設置部局:AIMR〕

[530] 形状解析レーザ顕微鏡

キーエンス VK-X1100/1000SP2606 〔設置部局:AIMR〕

質量分析

[009] 質量分析装置(フーリエ変換質量分析装置)

solariX-TOH1 9.4T(Bruker)〔設置部局:理学研究科〕

[010] 質量分析装置(ガスクロマトグラフ飛行時間質量分析装置)

JMS-T100GCV(日本電子)〔設置部局:理学研究科〕

[022] 高精密質量分析装置(1)

LTQ Orbitrap Velos(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:薬学研究科〕

[023] 高精密質量分析装置(2)

Thermo Fisher Exactive(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:薬学研究科〕

[024] 高精密質量分析装置(3)

TSQ Vantage(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:薬学研究科〕

[028] 二次イオン質量分析計(SIMS)

IMS-7F Ion MicroAnalyzer(S/N748)(CAMECA/AMETEK)〔設置部局:工学研究科〕

[030] 高分解能質量分析装置

JMS-700(日本電子)〔設置部局:農学研究科〕

[031] 安定同位体比質量分析システム(燃焼型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置)

燃焼型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:農学研究科〕

[032] 安定同位体比質量分析システム(熱分解型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置)

熱分解型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:農学研究科〕

[033] 安定同位体比質量分析システム(ガスクロマトグラフ装置及び安定同位体比質量分析装置)

ガスクロマトグラフ装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:農学研究科〕

[034] 安定同位体比質量分析システム(試料前処理・導入装置及び安定同位体比質量分析装置)

試料前処理・導入装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:農学研究科〕

[035] 安定同位体比質量分析システム(高速液体クロマトグラフィー)

高速液体クロマトグラフィー(Gilson)〔設置部局:農学研究科〕

[036] 安定同位体比質量分析システム(燃焼型元素分析装置)

燃焼型元素分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:農学研究科〕

[041] 飛行時間型質量分析装置

5800 MALDI TOF/TOF(AB SCIEX)〔設置部局:生命科学研究科〕

[042] 生体低分子測定装置 組織プロテオーム解析装置

Triple TOF5600(AB SCIEX)外〔設置部局:生命科学研究科〕

[066] 高分解能高周波誘導結合プラズマ質量分析計 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific ELEMENT ICP-MS〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[195] 昇温脱離分析装置

WA1000(電子科学社)〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[213] 飛行時間型質量分析システム 〔リンク〕

Agilent Technologies 6230 TOFシステム〔設置部局:医学系研究科〕

[373] ハイブリッドフーリエ変換質量分析装置

Thermo Fisher Scientific Orbitrap Fusion〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[374] 四重極-フーリエ変換質量分析装置①

Thermo Fisher Scientific QExactive〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[375] 四重極-フーリエ変換質量分析装置②

Thermo Fisher Scientific QExactive〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[376] リニアイオントラップ-フーリエ変換質量分析装置

Thermo Fisher Scientific Orbitrap Elite〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[377] AB SCIEX TripleTOF TM5600+System

AB SCIEX TT5600〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[390] 高精度構造解析質量分析システムQ-TOF 〔リンク〕

Bruker Daltonics micrOTOF-QⅡ-S1〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[392] マトリクス支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析装置 MALDI-TOF 〔リンク〕

Bruker Daltonics autoflex Speed-S1〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[407] 炭素・窒素安定同位体比質量分析計

Thermo Scientific Delta V Advantage〔設置部局:工学研究科〕

[533]ID-CUBE Zaplous Quantiva

エーエムアール ID-CUBE Zaplous Quantiva〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[534] トリプル四重極型ガスクロマトグラフ質量分析計 GCMS-TQ8040

島津製作所 GCMS-TQ8040〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[535] タンデム四重極型質量分析装置

Waters XEVO TQ-S〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

元素分析

[013] 微量分析装置(有機ハロゲン・硫黄分析システム)

YHS-11(ヤナコ機器開発研究所)〔設置部局:理学研究科〕

[014] 微量分析装置(炭素・水素・窒素同時定量装置マイクロコーダ)

JM-11(ジェイ・サイエンス)〔設置部局:理学研究科〕

[025] 多次元材料組成分析システム 〔リンク〕

JSM-8500F(日本電子)外〔設置部局:工学研究科〕

[241] 同時角度分解型XPSシステム 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific ThetaProbe〔設置部局:工学研究科〕

[281] 農水産物・食品および土壌放射能測定装置

ORTEC GEM30P4-70〔設置部局:農学研究科〕

[282] 全自動元素分析装置

Elementar vario MAX CNS〔設置部局:農学研究科〕

[332] グロー放電発光表面分析装置 一式 〔リンク〕

堀場製作所 GD-Profiler2〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[394] 酸素・窒素分析装置 〔リンク〕

堀場製作所 EMGA-820〔設置部局:多元物質科学研究所〕

物性評価

[008] 高分解能CTスキャンシステム

高精細小型標本用装置ScanXmate-D160TSS105/11000(コムスキャンテクノ) ほか〔設置部局:学術資源研究公開センター〕

[061] レオメータ

RS-CPSコーンプレート型(Brookfield)〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[062] モジュラーコンパクトレオメーター

Anton-Paar MCR302〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[064] 接触角・表面張力計

DM-301(協和界面科学)〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[065] 摩擦試験機

UNMT-1MT-WS(Bruker AXS)〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[095] フロー式粒子像分析装置

シスメックス FPIA-3000〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[129] 東洋システム(株)充放電評価装置 TOSCAT-3000

TOSCAT-3000(東洋システム)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[192] 非接触三次元形状測定装置

NH-3SP 除振台、解析ソフトウエア付〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[225] エレクトロダイナミック試験システム(ElectroPlusTM ID-E10KNB E10000)

Instron ElectroPulsTM ID-E10KNB E10000〔設置部局:歯学研究科〕

[238] 10MN大型構造物性能評価システム

島津製作所 UH-C10MNX〔設置部局:工学研究科〕

[265] 硬度計IBISナノインデンター

Fischer-CrippsLaboratories IBIS Nanoindentator〔設置部局:工学研究科〕

[266] 1000kN油圧万能試験機

東京試験機 YU-1000SIV〔設置部局:工学研究科〕

[269] 1000kN万能試験機

前川試験機製作所 MRA-100-F2〔設置部局:工学研究科〕

[273] 2000kN圧縮試験機

前川試験機製作所 ACA-200A-F1〔設置部局:工学研究科〕

[293] 低温物性測定装置 PPMS DynaCool-9ZMZ 〔リンク〕

Quantum Design PPMSDynaCool-9ZMZ〔設置部局:金属材料研究所〕

[334] 超微小硬度計 1式 〔リンク〕

島津製作所 DUH-211S特型 外〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[335] デジタル画像相関ひずみ計測システム 一式 〔リンク〕

Correlated Solutions 高解像度CCDカメラ 2台 外〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[338] ベクトルマグネット回転システム 〔リンク〕

Cryomagnetics VSC-3070-BL〔設置部局:研究推進・支援機構〕

[368] マクロトライボロジー試験機

BrukerAX UMT3-HTRD〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[370] マイクロビッカース硬度計

島津製作所 HMV-21DT〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[371] 表面粗さ測定機

ミツトヨ SV-3100S4〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[381] 超伝導量子干渉型振動試料磁力計 1式

Quantum Design MPMS3〔設置部局:工学研究科〕

[382] 高温度領域粉末微小磁化測定装置

Quantum Design MPMS-XL〔設置部局:工学研究科〕

[383] 物理特性測定システム

Quantum Design PPMS〔設置部局:工学研究科〕

[391] パルスEPR 電子スピン共鳴装置 〔リンク〕

Bruker BioSpin E580 10/12型〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[393] 高温NMR解析システム 〔リンク〕

JEOL RESONANCE JNM-ECA300WB FTNMR装置〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[397] 振動試料型磁力計 BHV-50HM

理研電子 BHV-50HM〔設置部局:工学研究科〕

[398] 振動試料型磁力計 VSM-P7

東英工業 VSM-P7〔設置部局:工学研究科〕

[399] 磁気異方性トルク TM-TR2050-HGC-MG

玉川製作所 TM-TR2050-HGC-MG〔設置部局:工学研究科〕

[400] バルク試料用磁気異方性トルク磁力計

〔設置部局:工学研究科〕

[401] 電子スピン共鳴測定システム E-500

〔設置部局:工学研究科〕

[406] 超高周波透磁率測定装置

凌和電子 PMM-9G1〔設置部局:工学研究科〕

[418] 熱分析装置 一式

リガク Thermo Plus Evo 2 TD〔設置部局:AIMR〕

[517] 共振ずり測定装置

アルバック理工 RSM-1〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

分光分析

[015] 発光分析装置(高周波プラズマ発光分析装置) 〔リンク〕

ICPE-9000(島津製作所)〔設置部局:理学研究科〕

[045] 励起用フェムト秒レーザー発生装置(超短パルスレーザー分子イメージングシステム)

超短パルスレーザー分子イメージングシステム MaiTai DS-NT70(ニコン)〔設置部局:医工学研究科〕

[046] 波長可変パラメトリック増幅器分光イメージングシステム

超短パルスレーザー分子イメージングシステム(プレスト)〔設置部局:医工学研究科〕

[060] 和周波発生振動分光装置

ブロードバンドSFGフェムト秒二重共鳴(fs-SFG DR)(東京インスツルメンツ)〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[073] 多機能走査型X線電子分光分析装置

PHI-5000 VersaProbe Ⅱ(アルバック・ファイ)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[074] 顕微可視赤外分光システム

NX-FILM-TO 3(東京インスツルメンツ)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[093] 走査型近接場ラマン分光装置

共焦点顕微レーザーラマン Nano finder TERS(東京インスツルメンツ)〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[094] 高速ラマンイメージングシステム 〔リンク〕

Renishaw inVia共焦点ラマンマイクロスコープ〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[208] IVIS Spectrum CT Imaging System 〔リンク〕

Caliper Life Sciences IVIS Spectrum〔設置部局:医学系研究科〕

[223] スペクトル型セルアナライザー 〔リンク〕

ソニー SP6800ZE 3レーザータイプ〔設置部局:医学系研究科〕

[234] リキッドトランスファーシステム搭載マルチモードリーダー

Molecular Devices FlexStation3 96-well〔設置部局:薬学研究科〕

[254] フーリエ変換赤外分光光度計 〔リンク〕

日本分光 FT/IR-6300ST〔設置部局:工学研究科〕

[263] 多入射角高速分光エリプソメータ― 〔リンク〕

J.A.Woollam M-2000D-Tm〔設置部局:工学研究科〕

[271] レーザーラマン分光光度計システム 〔リンク〕

日本分光 NRS-5100AMS〔設置部局:工学研究科〕

[272] 分光エリプソメータ 〔リンク〕

HORIBA JOBIN YVON UVISEL LT NIR-OWG〔設置部局:工学研究科〕

[313] ICP発光分析装置 〔リンク〕

SPECTRO SPECTRO ARCOS〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[314] ラマン顕微鏡

堀場製作所 XploRA TYPE1-TIS532〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[322] LECO社製 炭素硫黄分析装置 CS844MC型

LECO CS844MC〔設置部局:東北アジア研究センター〕

[326] 狭帯域波長可変レーザー(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

Coherent MBR-110HP〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[329] 縦単一周波数半導体励起18Wグリーンレーザ(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

Coherent Verdi-V18 SF〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[369] 顕微赤外分光装置

日本分光 フーリエ変換赤外分光光度計(FT/IR-6300), 赤外顕微鏡(IRT-5000)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[520] 全真空顕微FTIR 〔リンク〕

〔設置部局:工学研究科〕

[527] フーリエ変換顕微赤外分光装置 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific 〔設置部局:金属材料研究所〕

電子顕微鏡・EPMA・FIB

[029] 三次元微小構造解析システム 〔リンク〕

JEM-ARM200F(UHR)(日本電子)、 JIB-4600F(日本電子)〔設置部局:工学研究科〕

[056] 電子ビーム蛍光X線解析システム②

電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600(日立)〔設置部局:電気通信研究所〕

[057] 電子ビーム蛍光X線解析システム③

X線励起蛍光X線元素分析装置(XRF) Supermini-M(リガク)〔設置部局:電気通信研究所〕

[072] 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ

JXA8530F(日本電子)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[085] サブオングストローム電子顕微鏡 〔リンク〕

FEI(株) Titan80-300〔設置部局:研究推進・支援機構〕

[086] 低加速高分解能走査電子顕微鏡 〔リンク〕

日立SU8000〔設置部局:研究推進・支援機構〕

[088] 透過電子顕微鏡

H-7650(日立)〔設置部局:農学研究科〕

[089] 走査電子顕微鏡(エネルギー分散型分析装置付) 

SU8000(EDAX)(日立)〔設置部局:農学研究科〕

[097] 高分解能走査型電子顕微鏡

高分解能走査型電子顕微鏡(STEM) SU8000 Type1形(日立)〔設置部局:電気通信研究所〕

[099] 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム

JSM-7800F(日本電子)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[111] イオンビーム加工解析装置

N-Vision40(Carl Zeiss Microscopy) トリプルビーム方式 〔設置部局:電気通信研究所〕

[130] 透過型電子顕微鏡(FE-TEM)

JEM-2100F(日本電子)〔設置部局:工学研究科〕

[131] 走査型電子顕微鏡・結晶方位解析(FE-SEM/EBSD)

JSM-7100F(日本電子)〔設置部局:工学研究科〕

[193] 2光子励起顕微鏡システム

フェムト秒の繰り返し可能レーザーおよび共焦点機能(Leica Microsystems)〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[222] 共焦点・超解像顕微鏡システム 〔リンク〕

ニコン 超解像/共焦点顕微鏡N-SIM+A1セット〔設置部局:医学系研究科〕

[239] 超高分解能分析走査型電子顕微鏡 一式 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ SU-70形〔設置部局:工学研究科〕

[259] SMI500ナノ加工顕微鏡システム 一式 〔リンク〕

日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ・ナノテクノロジー)  SMI500〔設置部局:工学研究科〕

[274] リアルサーフェスビュー顕微鏡 一式

キーエンス VE-9800SP2079〔設置部局:工学研究科〕

[292] 原子分解能分析電子顕微鏡システム 〔リンク〕

日本電子 JEM-200F(HR)〔設置部局:金属材料研究所〕

[294] 分析走査電子顕微鏡

日本電子 JSM-6610A(OIM結晶方位解析装置含む)〔設置部局:金属材料研究所〕

[331] 走査型電子顕微鏡 1式 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ SU-70、S-3400N、EDX〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[337] 超高分解能収差補正型走査透過電子顕微鏡システム 〔リンク〕

FEI Titan G2 60-300型〔設置部局:研究推進・支援機構〕

[355] 電界放射型走査電子顕微鏡付き集束イオンビーム装置 〔リンク〕

FIB/SEM装置本体 Helios NanoLab 600i,冷却水循環装置,無停電電源装置,コンプレッサー〔設置部局:金属材料研究所〕

[384] Helios600i FIB/SEMデュアルビームシステム

FEI〔設置部局:工学研究科〕

[526] 分析走査電子顕微鏡

日本電子 JSM-IT200(A) 〔設置部局:金属材料研究所〕

その他顕微鏡

[020] イメージング質量顕微鏡

iMScope(島津製作所)〔設置部局:医学系研究科〕

[090] 共焦点レーザースキャン顕微鏡

LSM 710(Carl-Zeiss)〔設置部局:生命科学研究科〕

[096] 3D測定レーザー顕微鏡

オリンパス LEXT OLS〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[100] 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム(クロスセクションポリッシング)

IB-09010 CP (クロスセクションポリッシャ)(日本電子)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[198] 超解像レーザー顕微鏡

TCS SP8 STED(Leica Microsystems)〔設置部局:医工学研究科〕

[206] PALMマイクロダイセクション

Carl Zeiss Microscopy PALM MicroBeam〔設置部局:理学研究科〕

[207] 共焦点レーザ走査型顕微鏡 一式

オリンパス FV1000-D-BX61-473/559〔設置部局:理学研究科〕

[212] 共焦点スペクトルイメージャー 〔リンク〕

Carl Zeiss Microscopy LSM780 〔設置部局:医学系研究科〕

[227] レーザーマイクロダイセクションユニット (LMD7000)

Leica Microsystems LMD7000〔設置部局:歯学研究科〕

[258] 無損傷電子顕微鏡試料作成装置 〔リンク〕

E.A.フィッショーネインストゥルメンツ モデル1040〔設置部局:工学研究科〕

[262] (米)ZYGO社製 表面形状解析システム

ZYGO NewView7300〔設置部局:工学研究科〕

[264] 高周波振動レーザー観察システム 〔リンク〕

Polytec〔設置部局:工学研究科〕

[268] 走査型プローブ顕微鏡システム

日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ・ナノテクノロジー)  NanoNaviReal〔設置部局:工学研究科〕

[351] レーザーマイクロダイセクションシステム

Leica Microsystems LMD7000-KNK〔設置部局:病院〕

[367] 微細表面構造計測顕微鏡

島津製作所 SFT-3500 MS-200AS〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[396] HSオールインワン蛍光顕微鏡

キーエンス BZ-9000〔設置部局:病院〕

[419] 共焦点レーザー顕微鏡システム

ニコン C2si〔設置部局:病院〕

[518] 高分解能共焦点レーザー顕微鏡システム 〔リンク〕

Carl Zeiss Microscopy LSM800 〔設置部局:医学系研究科〕

[530] 形状解析レーザ顕微鏡

キーエンス VK-X1100/1000SP2606 〔設置部局:AIMR〕

(微細)加工・工作・処理

[070] 微細加工システム FIB/SEMデュアルビームシステム

Helios 600i(FEI)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[077] 熱溶解樹脂積層3次元造型機システム

FORTUS400mc-L(Stratasys)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[078] (株)キーエンス製 高精細3Dプリンタ一式

AGILISTA-3100(KEYENCE)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[108] 光学薄膜作製装置

HPS-510S、EGK-3M(アルバック)〔設置部局:電気通信研究所〕

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕

[110] 電子ビーム描画装置

JBX-9000ZB(日本電子) 50keV電子ビーム(可変成形ビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕

[112] 高電圧パルス選択性粉砕装置 〔リンク〕

SELFRAG AG SELFRAG Lab S2.0〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[128] 粉末硬化型カラー造形装置一式

Projet 460 Plus(3D Systems)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[191] 電子ビーム描画装置

ELS-7500EX(電子ビーム加速電圧:50kV)〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[194] 超微細インクジェット装置

SIJテクノロジ PR-150THU型〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[200] 真空凍結乾燥システム

TF20-80TNN〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[237] 極微細スピンメモリ素子用電子描画装置 〔リンク〕

日本電子 JBX-6300SK〔設置部局:工学研究科〕

[242] レーザー直線描画装置 一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik DWL2000SD〔設置部局:工学研究科〕

[244] 住友精密工業(株)製 Deep RIE装置 一式 〔リンク〕

住友精密工業 MUC21 SR〔設置部局:工学研究科〕

[255] デジタル電動サーボプレス

アマダ SDE2025SF〔設置部局:工学研究科〕

[256] イオンビームミリング装置 エンドポイント分析器仕様 〔リンク〕

伯東 IBE-KDC75-TU-T-S〔設置部局:工学研究科〕

[267] イオンビームミリング装置 〔リンク〕

伯東 IBE-KDC75-THKU-ST〔設置部局:工学研究科〕

[270] リアクティブイオンエッチング装置 一式 〔リンク〕

サムコ RIE-10NR 一式〔設置部局:工学研究科〕

[277] Eマシニング用同時5軸NC加工システム

高島産業〔設置部局:工学研究科〕

[297] テトラアーク型単結晶引上装置 〔リンク〕

ジー・イー・エス TAC-32109〔設置部局:金属材料研究所〕

[309] 高清浄熱処理炉

WAF3000〔設置部局:電気通信研究所〕

[358] (米)Delta Micro Factory社製ハンディ3D

Artec Spider〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[389] SSP3000 スパッタ装置 〔リンク〕

菅製作所 AV301-B2〔設置部局:工学研究科〕

[481] ディスコ ダイサ 〔リンク〕

ディスコ DAD522 【仕様・特徴】切削水:水道水〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[486] サンドブラスト 〔リンク〕

新東 【仕様・特徴】ガラスの穴あけ加工〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[492] ウォーターレーザ 〔リンク〕

澁谷工業 LAMICS AQL-1900 【仕様・特徴】シリコンウェハや金属薄板の加工(ガラスなどの透明材料はNG)、最小加工線幅:約70μm〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[519] ペガサスA 〔リンク〕

SPPテクノロジーズMPX Pegasus-Advanced 〔設置部局:工学研究科〕

[522] マルチターゲットスパッタ 〔リンク〕

旭商会 EIA-TLR-003 〔設置部局:工学研究科〕

[523] 断面試料作製研磨装置 〔リンク〕

クノーテクノクラフト TIC3X-KN-SP 〔設置部局:工学研究科〕

[524] ダイサー 〔リンク〕

ディスコ DAD3240 〔設置部局:工学研究科〕

[525] SPT-RIE装置 〔リンク〕

SPPテクノロジーズ MUC-21 ASE-SRE-TO 〔設置部局:工学研究科〕

クリーンルーム内設備・装置

[113] ウェットベンチ(無機用・高清浄)

HNCD-4-SL #1(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[114] ウェットベンチ(無機用・汎用)

HNCD-4-SL #2(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[115] ウェットベンチ(無機用・メタル専用)

HNCD-4-SL #3(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[116] ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)

HNCD(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[117] 特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置

200SP(エス・イー・エス)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[118] KrFステッパ

FPA3000-EX3(キヤノン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[119] コータデベロッパ

Mark8(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[120] アライナー

EMA-400(ユニオン光学)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[121] 中電流イオン注入装置

EXCEED2300AH(日新イオン機器)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[122] 低温拡散炉、水素処理炉

東京エレクトロン BEOL炉(α-8SE)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[123] プラズマ酸化・窒化

RLSA 2B(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[124] LPCVD装置

Formula(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[125] マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)

LT-PECVD(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[126] 常圧CVD装置

PYROX-216E(TEMPRESS)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[127] マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置

(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[132] 特殊型室温枚葉洗浄装置A

金属薄膜用洗浄装置(リアライズ ・アドバンストテクノロジ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[133] 特殊型密閉型洗浄装置B

(リアライズ・アドバンストテクノロジ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[134] 電子ビーム露光装置

CABL-9520CE(クレステック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[135] RTA装置B

RLA-1208-V(光洋サーモシステム)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[137] 高温熱処理装置(1200℃)

VD-8-300S(V&Hテクノロジーズ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[142] クラスタスパッタ装置

IZU-2500H(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[143] 汎用酸素ラジカル処理装置

(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[147] オールメタル装置(プラズマ平坦化)

(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[149] 33mmプラズマチャンバー装置(MO)

(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[150] ワイヤーボンダー

〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[151] CMP装置(1)

APD-800X(ARACA)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[152] CMP装置(2)

APD-800X(ARACA)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[154] CMP後洗浄装置

(リアライズ ・アドバンストテクノロジ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[155] 蛍光X線分析装置(XRF)

SEA1000A(日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ・ナノテクノロジー))〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[156] パーティクル検査装置A

WM2500(トプコン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[157] XRD

X'pert MRD(PANalytical/Spectris)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[158] 分光エリプソメトリー

UVISEL/M200-VIS(堀場製作所)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[159] 低温プローバ

ARK-LIPS(ナガセ電子機器(ナガセテクノエンジニアリング))〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[160] ソーラシミュレータ

WXS-90S-L2(ワコム電創)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[161] FE-SEM

JSM-6700F(日本電子)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[162] 顕微鏡

MX50(オリンパス)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[163] 抵抗率測定器

VR-120S(国際電気アルファ(日立国際電気))〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[165] 段差計

DECTAK(Bruker Nano)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[166] 300mm高周波対応マニュアルプローバ

S300M-973(ベクターセミコン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[167] マニュアルプローバ cascade 8inch,1/fノイズ計測システム付

SQ-S11861B(Cascade Microtech)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[168] 薄膜密度計

MH4000(NEC三栄)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[169] n&k測定装置

(n&k Technology)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[170] 水銀プローブ

CVmap92A(雄山)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[197] 200mmウェーハ対応原子間力顕微鏡

N9455A(サカタ理化学)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[243] 超高真空CVD装置 〔リンク〕

エア・ウォーター VCE-S2103TH〔設置部局:工学研究科〕

[245] シリコン酸化皮膜形成用O3・TEOS/CVD装置 〔リンク〕

ユーテック〔設置部局:工学研究科〕

[247] 薄膜形成用プラズマCVD装置 〔リンク〕

サムコ PD-220NL〔設置部局:工学研究科〕

[248] 住友 PECVD 〔リンク〕

住友精密 MPX-CVD 【仕様・特徴】SiN、SiO2、最高温度:350℃、低応力SiN成膜〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[249] マスク露光システム装置 〔リンク〕

SUSS MicroTec MA8 Gen3 Thu1〔設置部局:工学研究科〕

[250] 熱CVD 〔リンク〕

国際電気 【仕様・特徴】Epipoly-Si(non-doped, doped)、Poly-Si(non-doped, doped)、最高温度:1100℃〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[252] DeepRIE装置#1 〔リンク〕

住友精密 MUC-21 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、メカニカルチャック〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[253] 光洋サーモシステム(株)製 ランプアニールシステム 〔リンク〕

光洋サーモシステム RLA-1208-V〔設置部局:工学研究科〕

[257] TEOS PECVD システム 一式 〔リンク〕

サムコ PD-100ST〔設置部局:工学研究科〕

[260] 光洋サーモシステム(株)製 横型システム 一式 〔リンク〕

光洋サーモシステム 272A-M200〔設置部局:工学研究科〕

[278] 芝浦 スパッタ装置 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス CFS-4ESII 【仕様・特徴】基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板加熱形(最高300℃)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[284] イオン注入装置 〔リンク〕

アルバック IMX-3500〔設置部局:医工学研究科〕

[287] ドライエッチング装置 〔リンク〕

アルバック NE-550〔設置部局:医工学研究科〕

[303] 高精度絶縁膜スパッタ成膜装置

エイコー ES-250L〔設置部局:流体科学研究所〕

[306] ニュートラルビーム装置

ユーテック 19-052PC-8〔設置部局:流体科学研究所〕

[308] 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

日立ハイテクノロジーズ S-5200〔設置部局:流体科学研究所〕

[336] MSEP-PVクラスタ

大亜真空〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[341] MOCVD装置 〔リンク〕

ワコム研究所 Doctor-T 【仕様・特徴】PZT成膜等〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[342] EB描画装置 〔リンク〕

エリオニクス ELS-G125S 【仕様・特徴】最大加速電圧:130keV、最小描画パターン:10nm以下〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[344] マイクロX線CT 〔リンク〕

コムスキャンテクノ ScanXmate-D160TS110〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[345] 熱電子SEM 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ S-3700N型・堀場製作所 EMAX Energy 【仕様・特徴】EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[346] 超音波顕微鏡 〔リンク〕

インサイト IS-350型 S-U 【仕様・特徴】デバイス内部の非破壊検査、ウェハ接合面の欠陥、ボイド評価等〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[343] サーフェイスプレナー 〔リンク〕

ディスコ DAS8920 【仕様・特徴】Au、Cuバンプの平坦化〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[347] ブラシスクラバ 〔リンク〕

全協化成工業 【仕様・特徴】研磨後のウェハ洗浄〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[348] デジタル顕微鏡 〔リンク〕

KEYENCE VHX-1000 【仕様・特徴】パターン観察、デジタル画像保存、電動ステージ(PC制御可)、20~200倍、500~5000倍〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[359] 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 〔リンク〕

ユーテック 21-0604 【仕様・特徴】金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニールチャンバの3つの チャンバで構成。最高基板温度は700℃。主にPZT下地成膜、PZT成膜用。〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[360] 両面マスクアライナ 〔リンク〕

SUSS Micro Tec SUSS MA6/BA6 SPEC TOU-2【仕様・特徴】コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[361] 多元材料原子層堆積(ALD)装置 〔リンク〕

テクノファイン ALK-600 【仕様・特徴】アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導⼊が可能。アルミナ以外は、要原料。〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[362] ME-RIE装置 〔リンク〕

立山マシン TEP-01C1 【仕様・特徴】磁気エンハンスト型RIE装置〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[363] Vapor HFエッチング装置 〔リンク〕

Primaxx uEtch Module TO-α 【仕様・特徴】気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[364] 芝浦スパッタ装置(冷却形) 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス CFS-4ES-C.T. 【仕様・特徴】基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板冷却型〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[385] AFM

アサイラム テクノロジー〔設置部局:工学研究科〕

[402] インラインスパッタリング装置 C3010

〔設置部局:工学研究科〕

[403] マルチスパッタシステム

キヤノンアネルバ〔設置部局:工学研究科〕

[404] スパッタリング装置

月島機械〔設置部局:工学研究科〕

[405] 多元スパッタ装置

旭商会〔設置部局:工学研究科〕

[413] 中性粒子ビームエッチング装置

パナソニックファクトリーソリューションズ E620R&D特型〔設置部局:AIMR〕

[414] ロードロック式DLC中性粒子ビームCVD装置

ユーテック 20-0060〔設置部局:流体科学研究所〕

[415] オンウェハ・プラズマプロセスダメージ予測システム

みずほ情報総研〔設置部局:流体科学研究所〕

[417] パネル式クリーンブース 一式

日本エアーテック PCB02-774522T6〔設置部局:AIMR〕

[420] エッチングチャンバー 〔リンク〕

アズワン PSH1200【仕様・特徴】酸洗浄、ウェットエッチング(Si, SiO2など)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[421] リン酸槽 〔リンク〕

【仕様・特徴】SiNウェットエッチング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[422] イナートオーブン(シンター炉) 〔リンク〕

ヤマト科学 DN63H 【仕様・特徴】N2雰囲気中での熱処理、Alシンタリングなど〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[423] 真空オーブン 〔リンク〕

ヤマト科学 DP-31 【仕様・特徴】真空中での熱処理〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[424] スピン乾燥機 〔リンク〕

東邦化成 ZAA-4 【仕様・特徴】平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[425] 有機ドラフトチャンバー 〔リンク〕

【仕様・特徴】有機洗浄、レジスト剥離〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[426] 4″スピン乾燥機 〔リンク〕

SEMITOOL PSC101 【仕様・特徴】カセット式で1度に25枚まで処理可能〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[427] 6″スピン乾燥機 〔リンク〕

SEMITOOL PSC101 【仕様・特徴】カセット式で1度に25枚まで処理可能〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[428] パターンジェネレータ 〔リンク〕

日本精工 TZ-310 【仕様・特徴】エマルジョンマスク、Crマスクの作製、最小描画パターン:1µm〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[429] スピンコータ 〔リンク〕

ミカサ 1H-DXII 【仕様・特徴】レジスト等のスピンコーティング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[430] クリーンオーブン 〔リンク〕

ヤマト科学 DE62 【仕様・特徴】ウェハのベーク〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[431] ポリイミドキュア炉 〔リンク〕

ヤマト科学 DN43H 【仕様・特徴】N2雰囲気中でのポリイミドのキュア〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[432] 片面アライナ 〔リンク〕

キヤノン PLA-501-FA 【仕様・特徴】コンタクト露光、カセットtoカセットで連続処理可能〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[433] Raith EB描画装置 〔リンク〕

Raith 50 【仕様・特徴】最大加速電圧:30keV、最小描画パターン:30nm〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[434] 現像ドラフト 〔リンク〕

【仕様・特徴】レジスト現像用のドラフトチャンバー〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[435] UVキュア装置 〔リンク〕

ウシオ電機 UMA-802 【仕様・特徴】レジストのキュア、カセットtoカセット〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[436] スピンコータ 〔リンク〕

アクテス ASC-4000 【仕様・特徴】レジスト等のスピンコーティング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[437] スプレー現像装置 〔リンク〕

アクテス ADE-3000S 【仕様・特徴】現像液とリンス(水)をノズルから噴霧〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[438] レーザ描画装置 〔リンク〕

ハイデルベルグ・インストルメンツ DWL2000CE 【仕様・特徴】波長:405nm、最小描画線幅:0.7µm、マスク作製(Cr、エマルジョン)、直接描画、グレイスケール露光〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[439] 球面露光装置 〔リンク〕

東北電子産業 【仕様・特徴】球面体(直径1.0、3.3mm)へのマスクレス露光、最小パターン:1.5µmハーフピッチ、アライ メント精度:±5µm〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[440] 酸化炉 (半導体用) 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】酸化膜形成、半導体ウェハ用〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[441] 酸化炉 (MEMS用) 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】酸化膜形成、MEMSウェハ用〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[442] P拡散炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】P拡散(プリデポ用)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[443] P押し込み炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】P拡散(ドライブイン用)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[444] B拡散炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】B拡散(プリデポ用)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[445] B押し込み炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】B拡散(ドライブイン用)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[446] アニール炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】イオン注入後のアニール〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[447] 中電流イオン注入装置 〔リンク〕

日新イオン機器 NH-20SR 【仕様・特徴】最大加速電圧:180keV、最大電流:0.6mA、注入可能元素:P、B、カセットtoカセット〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[448] 高電流イオン注入装置 〔リンク〕

住友イートンノバ NV-10 【仕様・特徴】最大加速電圧:80keV、最大電流:6mA〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[449] ランプアニール装置 〔リンク〕

AG Associates AG4100 【仕様・特徴】最高温度:1100℃、昇温速度:100℃/sec、カセットtoカセット〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[450] メタル拡散炉 〔リンク〕

光洋リンドバーグ Model270 【仕様・特徴】最高温度:1000℃、メタルや圧電基板等の多用途拡散〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[451] LPCVD (SiN) 〔リンク〕

システムサービス 【仕様・特徴】SiN〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[452] LPCVD (Poly-Si) 〔リンク〕

システムサービス 【仕様・特徴】Poly-Si〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[453] LPCVD (SiO2、SiON) 〔リンク〕

システムサービス 【仕様・特徴】SiO2(NSG)、SiON〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[454] W-CVD 〔リンク〕

Applied Materials P-5000 【仕様・特徴】タングステン成膜〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[455] アネルバ スパッタ装置 〔リンク〕

アネルバ SPF-730 【仕様・特徴】1バッチ9枚(4インチ)、8インチターゲット×3〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[456] 電子ビーム蒸着装置 〔リンク〕

アネルバ EVC-1501 【仕様・特徴】主に金属薄膜の蒸着〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[457] ゾルゲル自動成膜装置 〔リンク〕

テクノファイン PZ-604 【仕様・特徴】PZT成膜〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[458] めっき装置 〔リンク〕

山本鍍金試験器 【仕様・特徴】Cu、Ni、Sn、Au〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[459] JPEL PECVD 〔リンク〕

日本生産技術研究所 VDS-5600 【仕様・特徴】SiN、SiO2、バッチ式:4インチ×13枚、6インチ×8枚〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[460] 住友 TEOS PECVD 〔リンク〕

住友精密 MPX-CVD 【仕様・特徴】TEOS SiO2、SiN、最高温度:350℃、低応力SiN成膜〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[461] 自動搬送 芝浦スパッタ装置 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス i-Miller CFS-4EP-LL 【仕様・特徴】基板ステージφ220mm、3インチターゲット×4、基板加熱形(最高300℃)、ロードロック付、自動搬送付〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[462] 球面成膜用スパッタ装置 〔リンク〕

"和泉テック 【仕様・特徴】球面体(直径1.0、3.3mm)へのスパッタリング、膜種:Au、Cr、Al、Pd、SiO2他、O2プラズ マクリーニング可"〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[463] DeepRIE装置#2 〔リンク〕

住友精密 MUC-21 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、メカニカルチャック〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[464] DeepRIE装置#3 〔リンク〕

STS 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、メカニカルチャック〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[465] アネルバ RIE装置 〔リンク〕

アネルバ DEA-506 【仕様・特徴】SiN、SiO2のドライエッチング、ガス:CF4、CHF3〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[466] アネルバ Si-RIE装置 〔リンク〕

アネルバ L-507DL 【仕様・特徴】Siのドライエッチング、ガス:SF6〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[467] Al-RIE 〔リンク〕

芝浦エレテック HIRRIE-100 【仕様・特徴】AlやSiのドライエッチング、カセットtoカセット、ガス:Cl2、BCl3〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[468] アルバック アッシング装置 〔リンク〕

アルバック UNA-2000 【仕様・特徴】2.45GHz、カセットtoカセット〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[469] ブランソン アッシング装置 〔リンク〕

ブランソン IPC4000 【仕様・特徴】13.56MHz〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[470] ECRエッチング装置 〔リンク〕

アネルバ ECR6001 【仕様・特徴】GaAs、AlGaNなどの化合物半導体材料のドライエッチング、ガス:Cl2〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[471] アルバック 多用途RIE装置 〔リンク〕

アルバック RIH-1515Z 【仕様・特徴】金属膜や圧電膜も対象とした多目的のドライエッチング、ガス:Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、N2、O2〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[472] KOHエッチング槽 〔リンク〕

【仕様・特徴】Si結晶異方性エッチング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[473] TMAHエッチング槽 〔リンク〕

【仕様・特徴】Si結晶異方性エッチング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[474] DeepRIE装置#4 〔リンク〕

住友精密 MUC-21 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、静電チャック、最大8インチ〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[475] イオンミリング装置 〔リンク〕

エヌ・エス/伯東 20IBE-C 【仕様・特徴】Arイオン、4インチ×6枚、6インチ×3枚〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[476] アルバックICP-RIE 〔リンク〕

アルバック NE-550 【仕様・特徴】SiO2などのドライエッチング、静電チャック、ガス:CF4、CHF3、SF6、Ar、O2、N2、(Cl2、BCl3)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[477] ケミカルドライエッチャー(CDE) 〔リンク〕

芝浦エレテック CDE7 【仕様・特徴】ラジカルによる低ダメージのシリコン等方性ドライエッチング、DRIE後のスキャロップ除去、ガス:CF4、O2、N2〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[478] プラズマクリーナ 〔リンク〕

ヤマト科学 PDC-210 【仕様・特徴】O2またはArによるウェハ表面のプラズマクリーニング、レジストアッシング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[479] ウェハ接合装置 〔リンク〕

Suss SB6e 【仕様・特徴】陽極接合、金属接合、ポリマー接合〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[480] 東京精密 ダイサ 〔リンク〕

東京精密 【仕様・特徴】切削水:純水〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[482] ワイヤボンダ 〔リンク〕

West Bond 【仕様・特徴】Al、Au〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[483] レーザマーカ 〔リンク〕

GSIルモニクス WM-II 【仕様・特徴】ウェハのマーキング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[484] 6インチウェハ研磨装置 〔リンク〕

BNテクノロジー Bni62 【仕様・特徴】Si、SiO2、金属などの研磨、CMP〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[485] 4インチウェハ研磨装置 〔リンク〕

BNテクノロジー Bni52 【仕様・特徴】Si、SiO2、金属などの研磨、CMP〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[487] EVG ウェハ接合装置 〔リンク〕

EVG 520 【仕様・特徴】熱圧着接合用〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[488] EVG ウェハ接合用アライナ 〔リンク〕

EVG Smart View Aligner 【仕様・特徴】IR透過アライメント可能〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[489] UVインプリント装置 〔リンク〕

東芝機械 ST-50 【仕様・特徴】UV光を用いたインプリント装置、ステップ&リピート可能〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[490] 熱インプリント装置 〔リンク〕

オリジン電気 Reprina-T50A 【仕様・特徴】最大650℃、最大30kN〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[491] エキシマ洗浄装置 〔リンク〕

デアネヒステ EXC-1201-DN 【仕様・特徴】ウェハや石英モールド上の有機物の除去〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[493] ウェハゴミ検査装置 〔リンク〕

トプコン WM-3 【仕様・特徴】ウェハ上のパーティクル測定(数、大きさ)〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[494] 膜厚計 〔リンク〕

ナノメトリクス NanoSpec3000 【仕様・特徴】光学式の膜厚測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[495] Dektak 段差計 〔リンク〕

Dektak Dektak 8 【仕様・特徴】触針式の表面形状測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[496] Tenchor 段差計 〔リンク〕

Tenchor AlphaStep 500 【仕様・特徴】触針式の表面形状測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[497] 深さ測定装置 〔リンク〕

ユニオン光学 Hisomet 【仕様・特徴】光学式の非接触深さ測定装置〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[498] 4探針測定装置 〔リンク〕

ナノメトリクス NanoSpec3000 【仕様・特徴】ウェハ抵抗率などの測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[499] 拡がり抵抗測定装置 〔リンク〕

Solid State Measurements SSM150 【仕様・特徴】不純物濃度プロファイルの測定、ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[500] ウェハプローバ 〔リンク〕

東京精密 EM-20A 【仕様・特徴】デバイスの電気特性測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[501] 金属顕微鏡 〔リンク〕

ニコン L150 【仕様・特徴】パターン観察〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[502] FE-SEM 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ S5000 【仕様・特徴】小片専用、インレンズ式の高分解能FESEM〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[503] エリプソ 〔リンク〕

アルバック 【仕様・特徴】薄膜の厚さ、屈折率測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[504] 赤外線顕微鏡 〔リンク〕

オリンパス/浜松ホトニクス 【仕様・特徴】両面アライメントの確認、ウェハ接合面のボイド評価等〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[505] 四重極質量分析装置 〔リンク〕

キヤノンアネルバ M-101QA-TDM 【仕様・特徴】プロセス中の残留ガスのモニタ等〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[506] TOF-SIMS 〔リンク〕

CAMECA TOF SIMS IV 【仕様・特徴】二次イオン質量分析装置、深さ方向の微量元素分析〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[507] クイックコータ 〔リンク〕

サンユー電子 SC-701MkII 【仕様・特徴】SEM観察試料のPtコーティング〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[508] 卓上型エリプソ 〔リンク〕

フォトニックラティス SE-101 【仕様・特徴】高速サンプリング可能なエリプソ〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[509] 大口径AFM 〔リンク〕

Digital Instruments Dimension 3100 【仕様・特徴】大口径ウェハにも対応するAFM〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[510] レーザ/白色光共焦点顕微鏡 〔リンク〕

レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD 【仕様・特徴】3次元表面形状測定、DeepRIEのエッチ深さ測定、レーザ光/白色の切替可能、共焦点/非共焦点の切替可能〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[511] 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1 〔リンク〕

【仕様・特徴】固体試料の漏洩弾性表面波(LSAW)速度測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[512] 直線集束ビーム超音波材料解析システム#2 〔リンク〕

【仕様・特徴】固体試料のバルク波(縦波、横波)音速測定〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

バイオ関連

[016] 次世代型高速シーケンシングシステム 〔リンク〕

SOLiD-11S4(Life Technologies)〔設置部局:医学系研究科〕

[021] 多検体微量遺伝子定量装置 〔リンク〕

BioMark HD-QPCR(Fluidigm)〔設置部局:医学系研究科〕

[039] レーザーマイクロダイセクション

ArcturusXTTM(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局:生命科学研究科〕

[040] マイクロウェーブプロセッサー

H2850(Energy Beam Science)〔設置部局:生命科学研究科〕

[173] 超精密生体分子分析装置

〔設置部局:医工学研究科〕

[174] 生体機能画像解析装置

(Leica Microsystems)〔設置部局:医工学研究科〕

[175] 生体適合デバイス特性測定装置

セレバス128chシステム〔設置部局:医工学研究科〕

[176] 硬組織三次元形態解析装置

〔設置部局:医工学研究科〕

[177] 多波長画像解析装置

SC4000-YMR(フリアーシステムズ)〔設置部局:医工学研究科〕

[178] ナノイメージング解析装置

〔設置部局:医工学研究科〕

[179] 生体モデル分析装置

〔設置部局:医工学研究科〕

[180] 神経細胞活動記録解析装置

〔設置部局:医工学研究科〕

[181] 生体電気現象解析処理装置

(ソーラトロン)〔設置部局:医工学研究科〕

[182] 多機能生理学実習装置

(BIOPAC Systems)〔設置部局:医工学研究科〕

[183] マウス・ラット自動飼育装置システム

KIS-160WTU〔設置部局:医工学研究科〕

[184] 高解像度超音波画像解析装置

TKSHD-10CH101〔設置部局:医工学研究科〕

[186] ペンタナXTシステム

750-DXT30SP〔設置部局:医工学研究科〕

[187] 純水・超純水製造装置

(ミリポア)〔設置部局:医工学研究科〕

[188] 顕微鏡デジタルカメラ

(オリンパス)〔設置部局:医工学研究科〕

[189] 小動物隔離収容装置

CR-1600THSS〔設置部局:医工学研究科〕

[190] PASシステム

PASシステムスティムレーターGD-601、プログラムユニットGD-602(OG技研)〔設置部局:病院〕

[210] フローサイトメーター FACS SORP 〔リンク〕

Becton Dickinson FACS SORP〔設置部局:医学系研究科〕

[211] フローサイトメーター FACS AriaⅢ 〔リンク〕

Becton Dickinson FACS Aria III〔設置部局:医学系研究科〕

[214] ラボラトリーオートメーションシステム

Beckman Coulter Biomek FXP〔設置部局:医学系研究科〕

[215] 生体分子間相互作用解析システム 〔リンク〕

Bio-Rad Laboratories ProteOn XPR36システム〔設置部局:医学系研究科〕

[216] ジェネティックアナライザ 3500xL-250 〔リンク〕

Life Technologies Applied Biosystems 3500xL〔設置部局:医学系研究科〕

[217] ジェネティックアナライザ 3500xL-250 〔リンク〕

Life Technologies Applied Biosystems 3500xL〔設置部局:医学系研究科〕

[218] 低酸素ワークステーション 〔リンク〕

Ruskinn Technology Sic-Tive Dual TSS SCI-00D TSS〔設置部局:医学系研究科〕

[219] ハイエンドマルチプレートリーダーシステム 〔リンク〕

BMG LABTECH PHERAstar FS-36 P/N:471-301-6〔設置部局:医学系研究科〕

[220] ナノリッター分注システム Mosquito HTSシステム2Way

TTP Labtech Mosquito HTS〔設置部局:医学系研究科〕

[221] 分離用超遠心機

日立工機 himac CP80WX〔設置部局:病院〕

[224] 自動細胞解析装置フローサイトメーター 〔リンク〕

Becton, Dickinson BD FACSCanto〔設置部局:医学系研究科〕

[228] ハイスループット性向上システム

Beckman Coulter〔設置部局:薬学研究科〕

[229] ハイコンテンツスクリーニングシステム

GE Healthcare イメージングサイトメーター IN Cell Analyzer2000〔設置部局:薬学研究科〕

[230] セルベースアッセイシステム

Molecular Devices ハイループットカイネティックセルベースアッセイシステム〔設置部局:薬学研究科〕

[231] ラボラトリーオートメーションシステム

Beckman Coulter〔設置部局:薬学研究科〕

[232] 次世代型DNAシーケンサー

Illumina〔設置部局:薬学研究科〕

[233] in-situハイブリダイゼーションシステム

IntavisAG〔設置部局:薬学研究科〕

[235] セルソーター

ソニー SH800〔設置部局:薬学研究科〕

[236] 生化学ロボットハイスループット性向上アイテム

Beckman Coulter ラボラトリーオートメーションシステムアップグレード〔設置部局:薬学研究科〕

[280] 次世代シーケンサー MiSeqシステム

Illumina MS-J-001 〔設置部局:農学研究科〕

[283] 単一細胞評価システム 一式

Beckman Coulter MoFloXDP; Fluidigm BioMark HD 〔設置部局:工学研究科〕

[288] 三次元動作分析装置 本体

アニマ MA-8000〔設置部局:医工学研究科〕

[289] ニューロモジュレーションシステム

Magstim TYPE2; RogueResearch Brainsight2〔設置部局:医工学研究科〕

[290] 高精度エネルギー代謝測定システム

アルコシステム ARCO-2000〔設置部局:医工学研究科〕

[301] セルアナライザー 〔リンク〕

Becton, Dickinson LSRFortessa TM〔設置部局:加齢医学研究所〕

[302] in vivoイメージング装置 一式 〔リンク〕

Caliper IVIS Lumina2 Imaging System〔設置部局:加齢医学研究所〕

[305] 小動物用超音波計測装置

VISUTALSONICS Vevo2100〔設置部局:流体科学研究所〕

[315] 災害関連疾病病態オミックス解析システム

〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[318] 細胞特異的災害ストレス解析システム

全自動磁気細胞分離システム,全自動核酸・たんぱく質抽出システム〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[349] TissueFAXS i4 測定ユニット

Tissue Gnostics TG-9101-T〔設置部局:病院〕

[352] TissueFAXS細胞解析ソフトウェアシステム

Tissue Gnostics TG-2-200/202〔設置部局:病院〕

[378] MiSeqシステム

illumina MiSeq〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[379] 次世代シーケンサー Hiseq2500-A

illumina HiSeq2500〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[380] 次世代シーケンサー Hiseq2500-B

illumina HiSeq2500〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[395] フローサイトメーター FACS Fortessa

Becton Dickinson FACS Fortessa〔設置部局:病院〕

風洞・衝撃波・音響・映像

[079] リアルタイム3次元動作解析システム

Raptor-H(ナックイメージテクノロジー)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[101] 低乱熱伝達風洞装置

※型式:単路回流型風洞(荏原製作所) ※仕様:密閉型測定部、風速5~70m/s、大きさL3.5m×W1.01m、 開放型測定部、風速5~80m/s、大きさL1.42m×W0.81m 〔設置部局:流体科学研究所〕

[102] 小型低乱風洞装置

単路回流型(荏原製作所)開放型測定部0.293m正八角形、最高風速65m/s〔設置部局:流体科学研究所〕

[105] 弾道飛行装置

最高射出速度 6km/s、射出形式(ガス銃、一段式火薬銃、二段式軽ガス銃)(ノビテック)〔設置部局:流体科学研究所〕

[171] 無響室

(日本音響エンジニアリング)〔設置部局:電気通信研究所〕

[172] 防音シールド室

(日本音響エンジニアリング)〔設置部局:電気通信研究所〕

[317] 高精度・低消費電力地震波観測装置 一式

〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[319] 複合現実空間災害情報表示設備 一式

キャノンITソリューションズ MREAL HM-A1〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[320] 防災・減災情報表示設備 一式

〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[357] 災害記録収集設備

PointGray 全方向デジタルカメラ Ladybug5 他〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[532] Sabia Art Scanner LiAM S

サビア LiAM S 〔設置部局:災害科学国際研究所〕

サイクロトロン・PET

[103] 高速イオン・中性子ビーム照射装置

最高ビームエネルギー:陽子・中性子70MeV及び重イオンビーム〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[104] 粒子加速装置(医用小型サイクロトロン)

CYPRIS-HM12(住友重機械工業)〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[106] ポジトロン放出断層装置(PET)

Eminence(島津製作所)〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[107] 小動物用PET・CT装置

ClairvivoPET・CT(島津製作所)〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[205] 全身用PETシステム

島津製作所 Eminence-B(SET-3000B/X)〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

環境試験

[071] サーマルクリーンチャンバー

TCC-603523A4S3(日本エアーテック)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[084] ドライビングシミュレーターシステム

NMS-612EII11500、ドライビングシミュレーター用6軸電動動揺装置一式(三菱プレシジョン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[196] 実変動風荷重載荷装置

〔設置部局:工学研究科〕

[321] FastGBSAR地上設置型合成開口レーダ 一式

Meta Sensing FastGBSAR〔設置部局:東北アジア研究センター〕

[333] レーザ熱衝撃疲労試験装置 一式 〔リンク〕

レーザ熱衝撃疲労試験装置 一式〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[354] 高温高圧腐食試験装置 一式

東伸工業 SERT-MINI-30PB 最高使用温度圧力:320℃,14MPa 最大負荷荷重:3kN〔設置部局:工学研究科〕

計算機

[316] データベース長期保存システム

〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[356] 災害解析用計算機システム 一式

〔設置部局:災害科学国際研究所〕

放射能測定

[325] Typhoon FLA 9500 BGR システム(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

GEヘルスケア Typhoon FLA 9500 BGRシステム〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[327] アキュフレックスガンマ(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

日立アロカメディカル ARC-7001〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[328] アキュフレックスガンマ(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

日立アロカメディカル ARC-7001〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[330] 液体シンチレーションシステム(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

日立アロカメディカル LSC-7400〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

施設単位の利用を前提とする共用設備・機器

[325] Typhoon FLA 9500 BGR システム(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

GEヘルスケア Typhoon FLA 9500 BGRシステム〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[326] 狭帯域波長可変レーザー(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

Coherent MBR-110HP〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[327] アキュフレックスガンマ(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

日立アロカメディカル ARC-7001〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[328] アキュフレックスガンマ(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

日立アロカメディカル ARC-7001〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[329] 縦単一周波数半導体励起18Wグリーンレーザ(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

Coherent Verdi-V18 SF〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[330] 液体シンチレーションシステム(CYRIC共同利用 RI共同利用【施設利用】) 〔リンク〕

日立アロカメディカル LSC-7400〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

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