[003] フーリエ変換型超伝導核磁気共鳴装置 〔リンク〕

Bruker BioSpin AVANCE NEO 700MHz 外〔設置部局：理学研究科〕

[004] 超伝導核磁気共鳴装置

600MHz,NMR　600TT型（Agilent（Varian））〔設置部局：農学研究科〕

[005] 3テスラ磁気共鳴装置〔リンク〕

Philips社製　Achieva dStream 3.0T 〔設置部局：加齢医学研究所〕

[006] 600MHz NMR装置①

自己遮蔽型 AVANCE600（Bruker BioSpin）〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[007] 800MHz NMR装置

Bruker BioSpin　マルチシステム用800MHz〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[285] 小動物用磁気共鳴イメージングシステム

Bruker BioSpin　ICON 1T〔設置部局：医工学研究科〕

[286] 立位全身核磁気共鳴イメージング解析装置

ESAOTE　G-scan brio〔設置部局：医工学研究科〕

[310] NMR装置　AVANCEⅢ600 〔リンク〕

Bruker BioSpin　AVANCEⅢ600〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[312] 超伝導核磁気共鳴装置 〔リンク〕

Bruker BioSpin　AVANCEⅢ 400R(特別仕様)〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[372] 600MHz NMR装置②

Bruker BioSpin　自己遮蔽型 AVANCE600〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[666] 核磁気共鳴装置〔リンク〕

Bruker　AV400〔設置部局：工学研究科〕

[761] 核磁気共鳴装置

Bruker BioSpin AVANCE NE0600 [設置部局：農学部・農学研究科]

[732] 600MHz NMR(固体・液体兼用）

JNM-ECZL-600G (日本電子)〔設置部局:工学研究科〕

[733] 400MHz NMR(溶液・固体兼用）

JNM-ECZL-400G (日本電子)〔設置部局:工学研究科〕

[734] 300MHz NMR(固体用）

JNM-ECZ-300R (日本電子)〔設置部局:工学研究科〕

[747]人工糖鎖医薬品研究開発システム(No.1) 〔リンク〕

日本電子 JNM-ECA600〔設置部局:薬学研究科〕

[748] 人工糖鎖医薬品研究開発システム(No.2) 〔リンク〕

日本電子 JNM-ECA600〔設置部局:薬学研究科〕

[749] 高分解能核磁気共鳴装置（No.3） 〔リンク〕

日本電子 JNM-ECA600〔設置部局:薬学研究科〕

[750] 核磁気共鳴装置（バリアン） 〔リンク〕

Varian 400-MRDS型〔設置部局:薬学研究科〕

[026] 超精密格子定数測定用Ｘ線回折装置

SuperLab(リガク)〔設置部局：電気通信研究所〕

[027] 高分解能Ｘ線回折装置

X`Pert PRP MRD(PANalytical/Spectris(Philips Analytical))〔設置部局：電気通信研究所〕

[057] 電子ビーム蛍光Ｘ線解析システム③

X線励起蛍光X線元素分析装置(XRF) Supermini-M(リガク)〔設置部局：電気通信研究所〕

[068] 多目的Ｘ線結晶構造解析システム

SmartLab 3G(リガク)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[069] 多目的Ｘ線結晶構造解析システム

VariMax DW with IP(リガク)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[208] IVIS Spectrum CT Imaging System 〔リンク〕

Caliper Life Sciences　IVIS Spectrum〔設置部局：医学系研究科〕

[226] マイクロフォーカスX線CT装置(ScanXmate-E090)

コムスキャンテクノ　ScanXmate-E090〔設置部局：歯学研究科〕

[275] 多機能薄膜X線回折装置 D8DISCOVER-TM 一式

BrukerAX　D8DISCOVER-TM〔設置部局：工学研究科〕

[279] 全自動波長分散型蛍光X線分析装置 〔リンク〕

BrukerAX　S8 TIGER(1kW)〔設置部局：工学研究科〕

[311] 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置　1式 〔リンク〕

リガク　ZSX Primus Ⅱ-TX 〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[365] 差動排気型光電子分光分析（XPS）装置

ScientaOmicron　R4000-Hipp2型〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[366] 薄膜表面評価用インプレーンＸ線回折装置

リガク　SmartLab 90TF〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[386] インプレーンＸ線回折装置 ATX/in-plane

リガク　ATX/in-plane〔設置部局：工学研究科〕

[416] Ｘ線位相スキャナ

〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[521] ESCA分析装置 〔リンク〕

アルバック・ファイ　Model　3057VC 〔設置部局：工学研究科〕

[528] X線装置 〔リンク〕

パナリティカル 〔設置部局：金属材料研究所〕

[529] 多目的Ｘ線回折複合システム

リガク　SmartLab9MTP､RASCO 3M 〔設置部局：AIMR〕

[599] 多機能薄膜材料評価X線回折装置

Bruker D8 Discover　[設置部局：電気通信研究所]

[615] 強力X線粉末構造解析装置

リガク RINT-2500LAUE　[設置部局：金属材料研究所]

[616] 単結晶試料方位確認装置(ラウエ)

マックサイエンス M03XHF-E　[設置部局：金属材料研究所]

[698] 全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置

TREX 610〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[724] X線回折装置

リガク RINT2200〔設置部局:電気通信研究所〕

[753] 高出力全自動水平型多目的X線回折装置 〔リンク〕

リガク SmartLab 9SW〔設置部局:金属材料研究所〕

[010] 質量分析装置（ガスクロマトグラフ飛行時間質量分析装置）

JMS-T100GCV（日本電子）〔設置部局：理学研究科〕

[022] 高精密質量分析装置（１）

LTQ Orbitrap Velos(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：薬学研究科〕

[023] 高精密質量分析装置（２）

Thermo Fisher Exactive(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：薬学研究科〕

[024] 高精密質量分析装置（３）

TSQ Vantage(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：薬学研究科〕

[031] 安定同位体比質量分析システム(燃焼型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置)

燃焼型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：農学研究科〕

[032] 安定同位体比質量分析システム(熱分解型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置)

熱分解型元素分析装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：農学研究科〕

[033] 安定同位体比質量分析システム(ガスクロマトグラフ装置及び安定同位体比質量分析装置)

ガスクロマトグラフ装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：農学研究科〕

[034] 安定同位体比質量分析システム(試料前処理・導入装置及び安定同位体比質量分析装置)

試料前処理･導入装置及び安定同位体比質量分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：農学研究科〕

[035] 安定同位体比質量分析システム(高速液体クロマトグラフィー)

高速液体クロマトグラフィー(Gilson)〔設置部局：農学研究科〕

[036] 安定同位体比質量分析システム(燃焼型元素分析装置)

燃焼型元素分析装置(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：農学研究科〕

[041] 飛行時間型質量分析装置

AB SCIEX　5800 MALDI TOF/TOF〔設置部局：生命科学研究科〕

[042] 生体低分子測定装置 組織プロテオーム解析装置

Triple TOF5600(AB SCIEX)外〔設置部局：生命科学研究科〕

[066] 高分解能高周波誘導結合プラズマ質量分析計 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific　ELEMENT ICP-MS〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[373] ハイブリッドフーリエ変換質量分析装置

Thermo Fisher Scientific　Orbitrap Fusion〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[374] 四重極-フーリエ変換質量分析装置①

Thermo Fisher Scientific　QExactive〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[375] 四重極-フーリエ変換質量分析装置②

Thermo Fisher Scientific　QExactive〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[390] 高精度構造解析質量分析システムQ-TOF 〔リンク〕

Bruker Daltonics　micrOTOF-QⅡ-S1〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[392] マトリクス支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析装置 MALDI-TOF 〔リンク〕

Bruker Daltonics　autoflex Speed-S1〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[534] トリプル四重極型ガスクロマトグラフ質量分析計 GCMS-TQ8040

島津製作所 GCMS-TQ8040〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[535] タンデム四重極型質量分析装置

Waters XEVO TQ-S〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[541] ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MS） 〔リンク〕

Agilent 6890N, 5975C〔設置部局：工学研究科〕

[542] 二重収束質量分析計 〔リンク〕

日本電子 JMS-700〔設置部局：工学研究科〕

[636] 飛行時間型質量分析計

Bruker micrOTOF Ⅱ〔設置部局：生命科学研究科〕

[758] 誘導結合プラズマ質量分析(ICP-MS)

Agilent ICP-MS8000 [設置部局：工学研究科]

[744] 精密定量タンデム四重極型質量分析装置

Waters XEVO TQ-XS 装置制御･データ解析部〔設置部局:東北メディカル・メガバンク機構〕

[013] 有機ハロゲン・硫黄分析システム 〔リンク〕

ヤナコ機器開発研究所YHS-11(構成:燃焼炉HNS-18L2,吸収ユニットHSU-45,注入ユニットIJ-20s)高速イオンクロマトグラフシステムIC-8100〔設置部局：理学研究科〕

[014] 微量分析装置（炭素・水素・窒素同時定量装置マイクロコーダ）

JM-11（ジェイ・サイエンス）〔設置部局：理学研究科〕

[025] 多次元材料組成分析システム 〔リンク〕

JSM-8500F(日本電子)外〔設置部局：工学研究科〕

[241] 同時角度分解型XPSシステム 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific　ThetaProbe〔設置部局：工学研究科〕

[282] 全自動元素分析装置

Elementar　vario MAX CNS〔設置部局：農学研究科〕

[394] 酸素･窒素分析装置 〔リンク〕

堀場製作所　EMGA-820〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[589] X線光電子分光装置（NOVA)（Si室）

島津製作所　AXIS-NOVA　[設置部局：電気通信研究所]

[655] イオンクロマトグラフ分析装置

Thermo Fisher Scientific Integrion〔設置部局：工学研究科〕

[672]X線光電子分光分析装置〔リンク〕

島津製作所　AXIS-ULTRA〔設置部局：工学研究科〕

[008] 高分解能CTスキャンシステム

高精細小型標本用装置ScanXmate-D160TSS105／11000（コムスキャンテクノ）　ほか〔設置部局：学術資源研究公開センター〕

[061] レオメータ

RS-CPSコーンプレート型(Brookfield)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[062] モジュラーコンパクトレオメーター

Anton-Paar　MCR302〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[064] 接触角・表面張力計

DM-301(協和界面科学)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[065] 摩擦試験機

UNMT-1MT-WS(Bruker AXS)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[225] 疲労試験機(ElectroPlus E10000)

Instron　ElectroPuls　E10000〔設置部局：歯学研究科〕

[238] 10MN大型構造物性能評価システム

島津製作所　UH-C10MNX〔設置部局：工学研究科〕

[265] 硬度計IBISナノインデンター

Fischer-CrippsLaboratories　IBIS Nanoindentator〔設置部局：工学研究科〕

[266] 1000kN油圧万能試験機

東京試験機　YU-1000SIV〔設置部局：工学研究科〕

[269] 1000kN万能試験機

前川試験機製作所　MRA-100-F2〔設置部局：工学研究科〕

[273] 2000kN圧縮試験機

前川試験機製作所　ACA-200A-F1〔設置部局：工学研究科〕

[334] ダイナミック微小硬度計 〔リンク〕

島津製作所 DUH-211S〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[335] デジタル画像相関ひずみ計測システム 〔リンク〕

Correlated Solutions DICシステム一式〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[338] ベクトルマグネット回転システム 〔リンク〕

Cryomagnetics　VSC-3070-BL〔設置部局：研究推進・支援機構〕

[368] マクロトライボロジー試験機

BrukerAX　UMT3-HTRD〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[370] マイクロビッカース硬度計

島津製作所　HMV-21DT〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[371] 表面粗さ測定機

ミツトヨ　SV-3100S4〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[381] 超伝導量子干渉型振動試料磁力計　1式

Quantum Design　MPMS3〔設置部局：工学研究科〕

[382] 高温度領域粉末微小磁化測定装置

Quantum Design　MPMS-XL〔設置部局：工学研究科〕

[383] 物理特性測定システム

Quantum Design　PPMS〔設置部局：工学研究科〕

[391] パルスEPR 電子スピン共鳴装置 〔リンク〕

Bruker BioSpin　E580 10/12型〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[393] 高温NMR解析システム 〔リンク〕

JEOL RESONANCE　JNM-ECA300WB FTNMR装置〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[397] 振動試料型磁力計　BHV-50HM

理研電子 BHV-50HM〔設置部局：工学研究科〕

[398] 振動試料型磁力計　VSM-P7

東英工業 VSM-P7〔設置部局：工学研究科〕

[399] 磁気異方性トルク　TM-TR2050-HGC-MG

玉川製作所 TM-TR2050-HGC-MG〔設置部局：工学研究科〕

[400] バルク試料用磁気異方性トルク磁力計

〔設置部局：工学研究科〕

[401] 電子スピン共鳴測定システム　E-500

〔設置部局：工学研究科〕

[406] 超高周波透磁率測定装置

凌和電子　PMM-9G1〔設置部局：工学研究科〕

[418] 熱分析装置　一式

リガク　Thermo Plus Evo 2 TD〔設置部局：AIMR〕

[517] 共振ずり測定装置

アルバック理工　RSM-1〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[543] レーザ回析式粒度分布測定装置 〔リンク〕

Malvern Instruments　マスターサイザー3000〔設置部局：工学研究科〕

[555] 絶対PL量子収率測定装置

浜松ホトニクス Quantaurus-QY C11347-01〔設置部局：AIMR〕

[774] 半導体ホール測定装置

理工貿易　[設置部局：電気通信研究所]

[591] 4探針抵抗率測定器（Si室）

ナプソン　RT-70/RG-7　[設置部局：電気通信研究所]

[593] 原子スケール評価分析システム（Si室）

Omicron　[設置部局：電気通信研究所]

[598] 高機能マイクロカー測定装置

ネオアーク BH-PI918M　[設置部局：電気通信研究所]

[601] 半導体パラメータ・アナライザ

Agilent B1500A　[設置部局：電気通信研究所]

[621] ナノレンジ押し込み硬さ試験機 〔リンク〕

フィッシャー・インストルメンツ　PICODENTOR HM500　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[622] デジタルビッカース硬さ試験機 〔リンク〕

マツザワ　VMT-X7S　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[623] ショア硬度計 〔リンク〕

今井精機　 ショア硬度計D型　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[624] 油圧サーボ式材料疲労試験装置 (1) 〔リンク〕

MTS　MODEL 810　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[625] 油圧サーボ式材料疲労試験装置 (2) 〔リンク〕

MTS　MODEL 810　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[629] 熱分析装置 〔リンク〕

リガク　Thermo plus EVO 2 シリーズ(TG 8121、DSC 8231)　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[630] アコースティックエミッション装置 〔リンク〕

Physical Acoustics　AEシステム一式　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[631] 小型表面粗さ測定機 〔リンク〕

小坂研究所　SE 300-39　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[637] 熱拡散測定装置

Netzsch・LFA467〔設置部局：金属材料研究所〕

[638] ナノインデンター

東陽テクニカ・G200〔設置部局：金属材料研究所〕

[645]ボール・オン・リング型　摩擦試験機

Phenix Tripology　TE54 〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[646]摩擦磨耗試験機

（株）スター精機　UED08-3 〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[703] 超低振動無冷媒オプティカル・クライオスタットs50

Montana Instruments〔設置部局:電気通信研究所〕

[711] 30kN万能材料試験機

Instron 5900R〔設置部局:工学研究科〕

[712] 2000kN圧縮試験装置

前川試験機製作所〔設置部局:工学研究科〕

[719] 超微量粘度計

〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[730] 比表面積・細孔分布測定装置

Quantachrome Instruments QUADRASORB EVO4〔設置部局：AIMR〕

[754] 熱分析装置 (Thermo plus EVO Ⅱ) 〔リンク〕

リガク〔設置部局:金属材料研究所〕

[015] 発光分析装置（高周波プラズマ発光分析装置） 〔リンク〕

ICPE-9000（島津製作所）〔設置部局：理学研究科〕

[045] 励起用フェムト秒レーザー発生装置（超短パルスレーザー分子イメージングシステム）

超短パルスレーザー分子イメージングシステム MaiTai DS-NT70(ニコン)〔設置部局：医工学研究科〕

[046] 波長可変パラメトリック増幅器分光イメージングシステム

超短パルスレーザー分子イメージングシステム(プレスト)〔設置部局：医工学研究科〕

[060] 和周波発生振動分光装置

ブロードバンドSFGフェムト秒二重共鳴(fs-SFG DR)(東京インスツルメンツ)〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[073] 多機能走査型Ｘ線光電子分光分析装置

PHI-5000 VersaProbe Ⅱ(アルバック･ファイ)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[074] 顕微可視赤外分光システム

NX-FLIM-TO 3(東京インスツルメンツ)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[093] 走査型近接場ラマン分光装置

共焦点顕微レーザーラマン Nano finder TERS(東京インスツルメンツ)〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[094] 高速ラマンイメージングシステム 〔リンク〕

Renishaw　inVia共焦点ラマンマイクロスコープ〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[223] スペクトル型セルアナライザー 〔リンク〕

ソニー　ＳＰ6800ＺＥ　3レーザータイプ〔設置部局：医学系研究科〕

[254] フーリエ変換赤外分光光度計 〔リンク〕

日本分光　FT/IR-6300ST〔設置部局：工学研究科〕

[263] 多入射角高速分光エリプソメータ― 〔リンク〕

J.A.Woollam　M-2000D-Tm〔設置部局：工学研究科〕

[271] レーザーラマン分光光度計システム 〔リンク〕

日本分光　NRS-5100AMS〔設置部局：工学研究科〕

[272] 分光エリプソメータ 〔リンク〕

HORIBA JOBIN YVON　UVISEL LT NIR-OWG〔設置部局：工学研究科〕

[313] ICP発光分析装置 〔リンク〕

SPECTRO　SPECTRO ARCOS〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[314] ラマン顕微鏡

堀場製作所　XploRA TYPE1-TIS532〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[322] LECO社製　炭素硫黄分析装置　CS844MC型

LECO　CS844MC〔設置部局：東北アジア研究センター〕

[369] 顕微赤外分光装置

日本分光　フーリエ変換赤外分光光度計(FT/IR-6300), 赤外顕微鏡(IRT-5000)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[520] 全真空顕微FTIR 〔リンク〕

〔設置部局：工学研究科〕

[527] フーリエ変換顕微赤外分光装置 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific 〔設置部局：金属材料研究所〕

[588] 分光エリプソ（Si室）

大塚電子　FE-5000　[設置部局：電気通信研究所]

[620] 顕微ラマン分光分析装置 〔リンク〕

堀場製作所　LabRAM HR800　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[657] 赤外イメージングシステム

Thermo Fisher Scientific Nicolet iN10 MX-1〔設置部局：学際科学フロンティア研究所〕

[667] 電子スピン共鳴装置〔リンク〕

JEOL　X330〔設置部局：工学研究科〕

[668]フーリエ変換赤外分光光度計〔リンク〕

ThermoFisher　Nicolet6700〔設置部局：工学研究科〕

[669]蛍光光度分光計〔リンク〕

日立ハイテク　F-7000〔設置部局：工学研究科〕

[670]ICP発光分光分析装置〔リンク〕

ThermoFisher　iCAP6500〔設置部局：工学研究科〕

[671]原子吸光分析装置〔リンク〕

ThermoFisher　iCE3500〔設置部局：工学研究科〕

[764] 蛍光分光光度計

日立ハイテクサイエンス F-2700形 [設置部局：材料科学高等研究所]

[727] 大気下光電子分光装置

日立 AC-2〔設置部局:電気通信研究所〕

[729] FTIR

JASCO FT/IR-6600〔設置部局：AIMR〕

[731] UV-Vis-NIR

JASCO V-770TWK〔設置部局：AIMR〕

[760] オージェ電子分光装置 〔リンク〕

日本電子 JAMP-9510F [設置部局：工学研究科]

[029] 三次元微小構造解析システム 〔リンク〕

JEM-ARM200F(UHR)(日本電子)､ JIB-4600F(日本電子)〔設置部局：工学研究科〕

[056] 電子ビーム蛍光Ｘ線解析システム②

電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600(日立)〔設置部局：電気通信研究所〕

[072] 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ

JXA8530F(日本電子)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[085] サブオングストローム電子顕微鏡 〔リンク〕

FEI Titan80-300〔設置部局：研究推進・支援機構〕

[086] 低加速高分解能走査電子顕微鏡 〔リンク〕

日立SU8000〔設置部局：研究推進・支援機構〕

[087] 組織構造解析装置　バイオマテリアル用電子顕微鏡　透過電子顕微鏡システム 〔リンク〕

日本電子 JEM-1400〔設置部局：医学系研究科〕

[088] 透過電子顕微鏡

H-7650(日立)〔設置部局：農学研究科〕

[089] 走査電子顕微鏡(エネルギー分散型分析装置付)　

SU8000(EDAX)(日立)〔設置部局：農学研究科〕

[097] 高分解能走査型電子顕微鏡

高分解能走査型電子顕微鏡(STEM) SU8000 Type1形(日立)〔設置部局：電気通信研究所〕

[099] 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム

JSM-7800F(日本電子)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[111] FIB/SEM

N-Vision40（Carl Zeiss Microscopy） トリプルビーム方式 〔設置部局：電気通信研究所〕

[130] 透過型電子顕微鏡（FE-TEM）

JEM-2100F（日本電子）〔設置部局：工学研究科〕

[131] 走査型電子顕微鏡・結晶方位解析（FE-SEM/EBSD)

JSM-7100F（日本電子）〔設置部局：工学研究科〕

[222] 共焦点・超解像顕微鏡システム 〔リンク〕

ニコン　超解像/共焦点顕微鏡Ｎ-ＳＩＭ+Ａ1セット〔設置部局：医学系研究科〕

[239] 超高分解能分析走査型電子顕微鏡　一式 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ　SU-70形〔設置部局：工学研究科〕

[246] 日本電子(株)製 サーマル電界放出形走査電子顕微鏡 〔リンク〕

JEOL　JSM-7800F〔設置部局：工学研究科〕

[259] SMI500ナノ加工顕微鏡システム 一式 〔リンク〕

日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ･ナノテクノロジー)　　SMI500〔設置部局：工学研究科〕

[294] 分析走査電子顕微鏡

日本電子　JSM-6610A（OIM結晶方位解析装置含む）〔設置部局：金属材料研究所〕

[308] 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

日立ハイテクノロジーズ　S-5200〔設置部局：流体科学研究所〕

[331] 走査型電子顕微鏡（FE-SEM） 〔リンク〕

日立ハイテク SU-70（EDS・EBSD付属）、S-3400N、IM-4000〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[337] 超高分解能収差補正型走査透過電子顕微鏡システム 〔リンク〕

FEI　Titan G2 60-300型〔設置部局：研究推進・支援機構〕

[384] Helios600i FIB/SEMデュアルビームシステム

FEI〔設置部局：工学研究科〕

[526] 分析走査電子顕微鏡

日本電子　JSM-IT200(A) 〔設置部局：金属材料研究所〕

[536] 走査電子顕微鏡（JSM-6390LA）

日本電子 JSM-6390LA〔設置部局：歯学研究科〕

[547] 分析走査電子顕微鏡

日本電子　JSM-6010PLUS/LA〔設置部局：金属材料研究所〕

[548] 分析透過電子顕微鏡 〔リンク〕

TOPCON EM-002B〔設置部局：金属材料研究所〕

[549] 透過電子顕微鏡 〔リンク〕

日本電子 JEM-2000EX II〔設置部局：金属材料研究所〕

[550] 原子分解能分析電子顕微鏡 〔リンク〕

日本電子 JEM-ARM200F〔設置部局：金属材料研究所〕

[562] SEM

日本電子 JSM-7401F　[設置部局：電気通信研究所]

[772] 電界放出形走査電子顕微鏡

日立　SU8600　[設置部局：電気通信研究所]

[639] 集束イオンビーム加工観察装置

日立ハイテク・FB2100〔設置部局：金属材料研究所〕

[641] 超高分解能電界放出形インレンズ走査電子顕微鏡

日立　S-5500形〔設置部局：理学研究科〕

[658] 生体高分子専用 透過型電子顕微鏡

日本電子　JEM-1400plus〔設置部局：生命科学研究科〕

[673]電子プローブマイクロアナライザー〔リンク〕

島津製作所　EPMA-1720HT〔設置部局：工学研究科〕

[674]電界放出型走査透過電子顕微鏡〔リンク〕

日立ハイテク　HD2700〔設置部局：工学研究科〕

[675]電界放出型走査電子顕微鏡〔リンク〕

日立ハイテク　S-4800〔設置部局：工学研究科〕

[676]低真空走査電子顕微鏡〔リンク〕

日立ハイテク　TM3000〔設置部局：工学研究科〕

[718] クライオ透過電子顕微鏡装置

JEM-3300〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[723]クライオ電子顕微鏡装置 〔リンク〕

日本電子 JEM-3300 CRYOARM300Ⅱ　[設置部局：未来型医療創成センター（東北メディカル・メガバンク機構）]

[756] 遠隔操作対応走査電子顕微鏡システム

日本電子 JSM-IT800(SHL)[設置部局：工学研究科]

[757] 精密イオンポリシングシステム

Gatan　PIPSⅡ cool 695.C [設置部局：工学研究科]

[741] FE-SEM/EDS

日本電子 JSM7800, Oxford X-Max〔設置部局:材料科学高等研究所〕

[743] 卓上走査電子顕微鏡

日本電子 JCM-7000(EDS,ステージナビゲーションシステム含む)　〔設置部局:学術資源研究公開センター〕

[752] 集束イオンビーム加工装置 (Versa 3D) 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific〔設置部局:金属材料研究所〕

[751] 集束イオンビーム加工装置 (Quanta 3D) 〔リンク〕

Thermo Fisher Scientific〔設置部局:金属材料研究所〕

[020] イメージング質量顕微鏡

iMScope(島津製作所)〔設置部局：医学系研究科〕

[090] 共焦点レーザースキャン顕微鏡

LSM 710(Carl-Zeiss)〔設置部局：生命科学研究科〕

[096] 3D測定レーザー顕微鏡

オリンパス　LEXT OLS〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[100] 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム（クロスセクションポリッシング）

IB-09020 CP (クロスセクションポリッシャ)(日本電子)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[198] 超解像レーザー顕微鏡

TCS SP8 STED（Leica Microsystems）〔設置部局：医工学研究科〕

[199] 高速高精細多光子・共焦点イメージング対応レーザー顕微鏡システム

A1RMP-MR（ニコン）〔設置部局：医工学研究科〕

[212] 共焦点スペクトルイメージャー 〔リンク〕

Carl Zeiss Microscopy　LSM780 〔設置部局：医学系研究科〕

[227] レーザーマイクロダイセクション(LMD7000)

Leica Microsystems　LMD7000〔設置部局：歯学研究科〕

[264] 高周波振動レーザー観察システム 〔リンク〕

Polytec〔設置部局：工学研究科〕

[268] 走査型プローブ顕微鏡システム

日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ･ナノテクノロジー)　　NanoNaviReal〔設置部局：工学研究科〕

[349] TissueFAXS i4 測定ユニット

Tissue Gnostics TG-9101-T〔設置部局：病院〕

[352] TissueFAXS細胞解析ソフトウェアシステム

Tissue Gnostics　TG-2-200/202〔設置部局：病院〕

[396] HSオールインワン蛍光顕微鏡

キーエンス　BZ-9000〔設置部局：病院〕

[419] 共焦点レーザー顕微鏡システム

ニコン　C2si〔設置部局：病院〕

[518] 高分解能共焦点レーザー顕微鏡システム 〔リンク〕

Carl Zeiss Microscopy　LSM800 〔設置部局：医学系研究科〕

[530] 形状解析レーザ顕微鏡

キーエンス　VK-X1100/1000SP2606 〔設置部局：AIMR〕

[582] AFM

日立ハイテクサイエンス nano cute　[設置部局：電気通信研究所]

[583] 段差計

Bruker DEKTAK XT-A　[設置部局：電気通信研究所]

[590] ワイドレンジナノ形状測定システム（Si室）

島津製作所　FT-3500　[設置部局：電気通信研究所]

[604] 原子間力顕微鏡（Veeco）

Bruker　Dimension Icon　[設置部局：電気通信研究所]

[605] レーザー共焦点顕微鏡（Lasertec）

レーザーテック　H1200　[設置部局：電気通信研究所]

[664] 光学顕微鏡 〔リンク〕

ニコン LV150 FMモジュールセット〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[665] 実体顕微鏡ティーチングシステム 〔リンク〕

ニコン SMZ1500〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[696] X線顕微鏡

Carl Zeiss、Xradia 800 Ultra〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[726] デジタルマイクロスコープ

キーエンス VHX600〔設置部局:電気通信研究所〕

[070] 微細加工システム　FIB/SEMデュアルビームシステム

FEI Electron Optics Helios600i〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[109] 電子線描画装置

JBX-9300SA（日本電子） 100keV電子ビーム（スポットビーム） 〔設置部局：電気通信研究所〕

[112] 高電圧パルス選択性粉砕装置 〔リンク〕

SELFRAG AG　SELFRAG Lab S2.0〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[200] 真空凍結乾燥システム

TF20-80TNN〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[237] 極微細スピンメモリ素子用電子描画装置 〔リンク〕

日本電子　JBX-6300SK〔設置部局：工学研究科〕

[242] レーザー直線描画装置　一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik　DWL2000SD〔設置部局：工学研究科〕

[244] 住友精密工業(株)製 Deep RIE装置　一式 〔リンク〕

住友精密工業　MUC21 SR〔設置部局：工学研究科〕

[249] マスク露光システム装置 〔リンク〕

SUSS MicroTec　MA8 Gen3 Thu1〔設置部局：工学研究科〕

[255] デジタル電動サーボプレス

アマダ　SDE2025SF〔設置部局：工学研究科〕

[256] イオンビームミリング装置 エンドポイント分析器仕様 〔リンク〕

伯東　IBE-KDC75-TU-T-S〔設置部局：工学研究科〕

[267] イオンビームミリング装置 〔リンク〕

伯東　IBE-KDC75-THKU-ST〔設置部局：工学研究科〕

[270] リアクティブイオンエッチング装置　一式 〔リンク〕

サムコ　RIE-10NR　一式〔設置部局：工学研究科〕

[389] SSP3000 スパッタ装置 〔リンク〕

菅製作所　AV301-B2〔設置部局：工学研究科〕

[481] ディスコ ダイサ 〔リンク〕

ディスコ DAD522 【仕様・特徴】切削水：水道水〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[486] サンドブラスト 〔リンク〕

新東 【仕様・特徴】ガラスの穴あけ加工〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[492] ウォーターレーザ 〔リンク〕

澁谷工業 LAMICS AQL-1900【仕様・特徴】シリコンウェハや金属薄板の加工（ガラスなどの透明材料はNG）、最小加工線幅：約70μm[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[519] ペガサスA 〔リンク〕

SPPテクノロジーズMPX　Pegasus-Advanced 〔設置部局：工学研究科〕

[523] 断面試料作製研磨装置 〔リンク〕

クノーテクノクラフト　TIC3X-KN-SP 〔設置部局：工学研究科〕

[524] ダイサー 〔リンク〕

ディスコ　DAD3240 〔設置部局：工学研究科〕

[525] SPT-RIE装置 〔リンク〕

SPPテクノロジーズ MUC-21 ASE-SRE-TO 〔設置部局：工学研究科〕

[544] 赤外線加熱合成炉

クリスタルシステム FZ-4-10K-K-M〔設置部局：金属材料研究所〕

[545] 赤外線加熱単結晶育成装置

キャノンマシナリー SC-K15HD〔設置部局：金属材料研究所〕

[546] 赤外線加熱単結晶育成装置(整備品)

キャノンマシナリー SCII-EDH-KS〔設置部局：金属材料研究所〕

[551] イオンミリング加工装置 〔リンク〕

FISCHINE MODEL 1010〔設置部局：金属材料研究所〕

[552] イオンスライサ加工装置 〔リンク〕

日本電子 EM-09100 IS〔設置部局：金属材料研究所〕

[553] オスミウムコータ 〔リンク〕

メイワフォーシス　NEOC-PRO〔設置部局：金属材料研究所〕

[554] 3Dプリンターシステム

Stratasys　uPrint SE〔設置部局：AIMR〕

[563] プラズマアッシャー①

ヤマト科学 PR500　[設置部局：電気通信研究所]

[564] UVオゾンクリーナー

サムコ UV-1　[設置部局：電気通信研究所]

[565] プラズマアッシャー②

ヤマト科学 V1000-TS　[設置部局：電気通信研究所]

[566] マスクアライナー①

SUSS MJB-4　[設置部局：電気通信研究所]

[567] 金属顕微鏡

オリンパス MX50A/T　[設置部局：電気通信研究所]

[568] レーザー顕微鏡

レーザーテック 1LM21　[設置部局：電気通信研究所]

[569] SEM前処理用スパッタ

サンユー電子 SC-701AT　[設置部局：電気通信研究所]

[570] スピンコーター①

ミカサ 1H-360S　[設置部局：電気通信研究所]

[773] 超音波洗浄器

アズワン USK-3R　[設置部局：電気通信研究所]

[571] スピンコーター②

ミカサ MS-A150　[設置部局：電気通信研究所]

[572] スピンコーター③

ミカサ MS-A150　[設置部局：電気通信研究所]

[573] スピンコーター④

ミカサ MS-A200　[設置部局：電気通信研究所]

[574] ホットプレート①

PMC720　[設置部局：電気通信研究所]

[575] ホットプレート②

アズワン HP-1SA　[設置部局：電気通信研究所]

[576] ホットプレート③

アズワン HHP-230SQ　[設置部局：電気通信研究所]

[577] 恒温槽①

ヤマト科学 CTA401　[設置部局：電気通信研究所]

[578] 恒温槽②

KELK ACE-10AN　[設置部局：電気通信研究所]

[580] UVキュア

ウシオ電機 UIS-5011 MIKY-AGG01　[設置部局：電気通信研究所]

[579] リソグラフィー関連（超音波洗浄器(USK-2R)）

アズワン USK-2R　[設置部局：電気通信研究所]

[581] 真空定温乾燥機

ヤマト科学 ADP300　[設置部局：電気通信研究所]

[584] マスクアライナー②

SUSS MJB-3　[設置部局：電気通信研究所]

[585] レーザー描画装置②

Heidelberg Instruments DWL200　[設置部局：電気通信研究所]

[586] マスクアライナー③

SUSS MJB-3　[設置部局：電気通信研究所]

[595] ボンダー（A408）

WEST・BOND　7476D　[設置部局：電気通信研究所]

[600] 接触段差計

アルバック　DekTak150　[設置部局：電気通信研究所]

[602] マスクアライナー（3FCR）

SUSS MicroTec　MJB4　[設置部局：電気通信研究所]

[603] レーザー直接描画装置

ネオアーク　DDB-201-TU375　[設置部局：電気通信研究所]

[606] スピン材料微細加工装置(ANELVAミリング)

アネルバ EVP-38763　[設置部局：電気通信研究所]

[607] スピン材料微細加工装置(絶縁膜堆積)

アネルバ EVP-38779　[設置部局：電気通信研究所]

[608] 絶縁膜堆積CVD

アルバック　CC-200　[設置部局：電気通信研究所]

[609] 磁性材料RIE(RIE#2)

アルバック　NE-550　[設置部局：電気通信研究所]

[610] 非磁性金属・絶縁膜RIE(RIE#1)

アルバック　NE-550　[設置部局：電気通信研究所]

[653]キーエンス製 3Dプリンタ

KEYENCE　AGILISTA-3100 〔設置部局：流体科学研究所〕

[691] OKK製立型マシニングセンタ

OKK　VM-53R〔設置部局：流体科学研究所〕

[692] FANUC製小型立型マシニングセンタ

ファナック　ROBODRILL α-D14LiA5〔設置部局：流体科学研究所〕

[702] 電顕用イオンミリング加工装置

日本電子 GATAN　PIPS691〔設置部局:工学研究科〕

[763] ワイヤ放電加工機

ブラザー工業（和泉テック） HS300 [設置部局：金属材料研究所]

[725] オートマチックダイシングソー

ディスコ　DAD-522〔設置部局:電気通信研究所〕

[759] 原子層堆積装置 〔リンク〕

Veeco　Savannah S100 [設置部局：工学研究科]

[738] サブフェムト・インクジェット 〔リンク〕

SIJテクノロジー　PR-150THU　【仕様・特徴】最小線幅：約5um　金や銀などの微細なパターン形成〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[739] 光造形3Dプリンター 〔リンク〕

DigitalWAX 028J-PLUS　【仕様・特徴】最小積層ピッチ：0.01mm、最大造形サイズ：90mm x 90mm x 90mm〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[755] イオンミリング装置 (PIPSⅡ) 〔リンク〕

GATAN〔設置部局:金属材料研究所〕

[113] ウェットベンチ(無機用・高清浄)

HNCD-4-SL #1（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[114] ウェットベンチ(無機用・汎用)

HNCD-4-SL #2（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[115] ウェットベンチ(無機用・メタル専用)

HNCD-4-SL #3（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[116] ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)

HNCD（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[117] 特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置

200SP（エス・イー・エス）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[118] KrFステッパ

FPA3000-EX3（キヤノン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[119] コータデベロッパ

Mark8（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[120] アライナー

EMA-400（ユニオン光学）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[121] 中電流イオン注入装置

EXCEED2300AH（日新イオン機器）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[122] 低温拡散炉、水素処理炉

東京エレクトロン　BEOL炉（α-8SE）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[123] プラズマ酸化・窒化

RLSA 2B（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[124] LPCVD装置

Formula（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[125] マイクロ波プラズマCVD装置（SiN）

LT-PECVD（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[126] 常圧CVD装置

PYROX-216E（TEMPRESS）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[127] マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置

（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[132] 特殊型室温枚葉洗浄装置A

金属薄膜用洗浄装置（リアライズ ・アドバンストテクノロジ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[133] 特殊型密閉型洗浄装置B

（リアライズ・アドバンストテクノロジ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[134] 電子ビーム露光装置

CABL-9520CE（クレステック）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[135] RTA装置B

RLA-1208-V（光洋サーモシステム）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[137] 高温熱処理装置(1200℃)

VD-8-300S（V&Hテクノロジーズ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[142] クラスタスパッタ装置

IZU-2500H（和泉テック）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[147] オールメタル装置（プラズマ平坦化）

（和泉テック）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[154] CMP後洗浄装置

（リアライズ ・アドバンストテクノロジ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[155] 蛍光X線分析装置(XRF)

SEA1000A（日立ハイテクサイエンス（エスアイアイ・ナノテクノロジー））〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[156] パーティクル検査装置A

WM2500（トプコン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[157] XRD

X'pert MRD（PANalytical/Spectris）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[158] 分光エリプソメトリー

UVISEL/M200-VIS（堀場製作所）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[159] 低温プローバ

ARK-LIPS（ナガセ電子機器（ナガセテクノエンジニアリング））〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[160] ソーラシミュレータ

WXS-90S-L2（ワコム電創）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[161] FE-SEM

JSM-6700F（日本電子）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[162] 顕微鏡

MX50（オリンパス）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[163] 抵抗率測定器

VR-120S（国際電気アルファ（日立国際電気））〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[165] 段差計

DECTAK（Bruker Nano）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[166] 300mm高周波対応マニュアルプローバ

S300M-973（ベクターセミコン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[167] マニュアルプローバ　cascade　8inch,1/fノイズ計測システム付

SQ-S11861B（Cascade Microtech）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[168] 薄膜密度計

MH4000（NEC三栄）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[169] n&k測定装置

（n&k Technology）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[170] 水銀プローブ

CVmap92A（雄山）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[197] 200mmウェーハ対応原子間力顕微鏡

N9455A（サカタ理化学）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[243] 超高真空CVD装置 〔リンク〕

エア・ウォーター　VCE-S2103TH〔設置部局：工学研究科〕

[245] シリコン酸化皮膜形成用O3･TEOS/CVD装置 〔リンク〕

ユーテック〔設置部局：工学研究科〕

[247] 薄膜形成用プラズマCVD装置 〔リンク〕

サムコ　PD-220NL〔設置部局：工学研究科〕

[249] マスク露光システム装置 〔リンク〕

SUSS MicroTec　MA8 Gen3 Thu1〔設置部局：工学研究科〕

[248] 住友 PECVD〔リンク〕

住友精密 MPX-CVD 【仕様・特徴】SiN、SiO2、最高温度：350℃、低応力SiN成膜〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[250] 熱CVD 〔リンク〕

国際電気 【仕様・特徴】Epipoly-Si(non-doped, doped)、Poly-Si(non-doped, doped)、最高温度：1100℃〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[251]XRD 〔リンク〕

Bruker社　D8 DISCOVER 【仕様・特徴】サンプルサイズ：小片～6インチ、X線回折測定、1000℃までの高温環境での測定可能〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[252] DeepRIE装置#1 〔リンク〕

住友精密 MUC-21 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、メカニカルチャック〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[253] 光洋サーモシステム(株)製　ランプアニールシステム 〔リンク〕

光洋サーモシステム　RLA-1208-V〔設置部局：工学研究科〕

[257] TEOS PECVD システム　一式 〔リンク〕

サムコ　PD-100ST〔設置部局：工学研究科〕

[260] 光洋サーモシステム(株)製　横型システム　一式 〔リンク〕

光洋サーモシステム　272A-M200〔設置部局：工学研究科〕

[278] 芝浦 スパッタ装置 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス CFS-4ESII 【仕様・特徴】基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板加熱形（最高300℃）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[284] イオン注入装置 〔リンク〕

アルバック　IMX-3500〔設置部局：医工学研究科〕

[287] ドライエッチング装置 〔リンク〕

アルバック　NE-550〔設置部局：医工学研究科〕

[309] 高清浄熱処理炉(3FCR)

東栄科学産業 WAF3000〔設置部局：電気通信研究所〕

[336] MSEP-PVクラスタ

大亜真空〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[341] MOCVD装置 〔リンク〕

ワコム研究所　Doctor-T 【仕様・特徴】PZT成膜等〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[342] エリオニクス 130kV EB描画装置 〔リンク〕

エリオニクス　ELS-G125S 【仕様・特徴】最大加速電圧：130keV、最小描画パターン：10nm以下〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[343] サーフェイスプレナー 〔リンク〕

ディスコ　DAS8920 【仕様・特徴】Au、Cuバンプの平坦化〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[344] マイクロX線CT 〔リンク〕

コムスキャンテクノ　ScanXmate-D160TS110〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[345] 熱電子SEM 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ　S-3700N型・堀場製作所　EMAX Energy 【仕様・特徴】EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[346] 超音波顕微鏡 〔リンク〕

インサイト　IS-350型　S-U 【仕様・特徴】デバイス内部の非破壊検査、ウェハ接合面の欠陥、ボイド評価等〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[347] ブラシスクラバ 〔リンク〕

全協化成工業 【仕様・特徴】研磨後のウェハ洗浄〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[348] デジタル顕微鏡 〔リンク〕

KEYENCE　VHX-1000 【仕様・特徴】パターン観察、デジタル画像保存、電動ステージ（PC制御可）、20～200倍、500～5000倍〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[359] 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 〔リンク〕

ユーテック　21-0604 【仕様・特徴】金属用(DC)スパッタチャンバ、酸化物用(RF)スパッタチャンバ、酸素加圧アニールチャンバの3つの チャンバで構成。最高基板温度は700℃。主にPZT下地成膜、PZT成膜用。〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[360] 両面マスクアライナ 〔リンク〕

SUSS Micro Tec　SUSS MA6/BA6 SPEC TOU-2【仕様・特徴】コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[361] 多元材料原子層堆積（ALD）装置 〔リンク〕

テクノファイン　ALK-600 【仕様・特徴】アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導⼊が可能。アルミナ以外は、要原料。〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[362] ME-RIE装置 〔リンク〕

立山マシン　TEP-01C1 【仕様・特徴】磁気エンハンスト型RIE装置〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[363] Vapor HFエッチング装置 〔リンク〕

Primaxx　uEtch Module TO-α 【仕様・特徴】気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[364] 芝浦スパッタ装置（冷却形） 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス　CFS-4ES-C.T. 【仕様・特徴】基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板冷却型〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[385] AFM

アサイラム テクノロジー〔設置部局：工学研究科〕

[402] インラインスパッタリング装置 C3010

〔設置部局：工学研究科〕

[413] 中性粒子ビームエッチング装置

パナソニックファクトリーソリューションズ　E620R&D特型〔設置部局：流体科学研究所〕

[417] パネル式クリーンブース　一式

日本エアーテック　PCB02-774522T6〔設置部局：AIMR〕

[420] エッチングチャンバー 〔リンク〕

アズワン PSH1200【仕様・特徴】酸洗浄、ウェットエッチング（Si, SiO2など）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[421] リン酸槽 〔リンク〕

【仕様・特徴】SiNウェットエッチング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[422] イナートオーブン（シンター炉） 〔リンク〕

ヤマト科学 DN63H 【仕様・特徴】N2雰囲気中での熱処理、Alシンタリングなど〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[423] 真空オーブン 〔リンク〕

ヤマト科学 DP-31 【仕様・特徴】真空中での熱処理〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[424] スピン乾燥機 〔リンク〕

東邦化成 ZAA-4 【仕様・特徴】平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[425] 有機ドラフトチャンバー 〔リンク〕

【仕様・特徴】有機洗浄、レジスト剥離〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[426] 4″スピン乾燥機 〔リンク〕

SEMITOOL PSC101 【仕様・特徴】カセット式で1度に25枚まで処理可能〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[427] 6″スピン乾燥機 〔リンク〕

SEMITOOL PSC101 【仕様・特徴】カセット式で1度に25枚まで処理可能〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[429] スピンコータ 〔リンク〕

ミカサ 1H-DXII 【仕様・特徴】レジスト等のスピンコーティング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[430] クリーンオーブン 〔リンク〕

ヤマト科学 DE62 【仕様・特徴】ウェハのベーク〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[431] ポリイミドキュア炉 〔リンク〕

ヤマト科学 DN43H 【仕様・特徴】N2雰囲気中でのポリイミドのキュア〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[434] 現像ドラフト 〔リンク〕

【仕様・特徴】レジスト現像用のドラフトチャンバー〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[435] UVキュア装置 〔リンク〕

ウシオ電機 UMA-802 【仕様・特徴】レジストのキュア、カセットtoカセット〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[436] スピンコータ 〔リンク〕

アクテス ASC-4000 【仕様・特徴】レジスト等のスピンコーティング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[437] スプレー現像装置 〔リンク〕

アクテス ADE-3000S 【仕様・特徴】現像液とリンス（水）をノズルから噴霧〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[438] レーザ描画装置 〔リンク〕

ハイデルベルグ・インストルメンツ DWL2000CE 【仕様・特徴】波長：405nm、最小描画線幅：0.7µm、マスク作製（Cr、エマルジョン）、直接描画、グレイスケール露光〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[439] 球面露光装置 〔リンク〕

東北電子産業 【仕様・特徴】球面体（直径1.0、3.3mm）へのマスクレス露光、最小パターン：1.5µmハーフピッチ、アライ メント精度：±5µm〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[440] 酸化炉　（半導体用） 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】酸化膜形成、半導体ウェハ用〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[441] 酸化炉　（MEMS用） 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】酸化膜形成、MEMSウェハ用〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[442] P拡散炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】P拡散（プリデポ用）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[443] P押し込み炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】P拡散（ドライブイン用）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[444] B拡散炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】B拡散（プリデポ用）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[445] B押し込み炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】B拡散（ドライブイン用）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[446] アニール炉 〔リンク〕

東京エレクトロン XL-7 【仕様・特徴】イオン注入後のアニール〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[447] 中電流イオン注入装置 〔リンク〕

日新イオン機器 NH-20SR 【仕様・特徴】最大加速電圧：180keV、最大電流：0.6mA、注入可能元素：P、B、カセットtoカセット〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[449] ランプアニール装置 〔リンク〕

AG Associates AG4100 【仕様・特徴】最高温度：1100℃、昇温速度：100℃／sec、カセットtoカセット〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[450] メタル拡散炉 〔リンク〕

光洋リンドバーグ Model270 【仕様・特徴】最高温度：1000℃、メタルや圧電基板等の多用途拡散〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[451] LPCVD　（SiN） 〔リンク〕

システムサービス 【仕様・特徴】SiN〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[452] LPCVD　（Poly-Si） 〔リンク〕

システムサービス 【仕様・特徴】Poly-Si〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[453] LPCVD　（SiO2、SiON） 〔リンク〕

システムサービス 【仕様・特徴】SiO2（NSG）、SiON〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[454] W-CVD 〔リンク〕

Applied Materials P-5000 【仕様・特徴】タングステン成膜〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[455] アネルバ スパッタ装置 〔リンク〕

アネルバ SPF-730 【仕様・特徴】1バッチ9枚（4インチ）、8インチターゲット×3〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[456] 電子ビーム蒸着装置 〔リンク〕

アネルバ EVC-1501 【仕様・特徴】主に金属薄膜の蒸着〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[457] ゾルゲル自動成膜装置 〔リンク〕

テクノファイン PZ-604 【仕様・特徴】PZT成膜〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[458] めっき装置 〔リンク〕

山本鍍金試験器 【仕様・特徴】Cu、Ni、Sn、Au〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[459] JPEL PECVD 〔リンク〕

日本生産技術研究所 VDS-5600 【仕様・特徴】SiN、SiO2、バッチ式：4インチ×13枚、6インチ×8枚〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[460] 住友 TEOS PECVD 〔リンク〕

住友精密 MPX-CVD 【仕様・特徴】TEOS SiO2、SiN、最高温度：350℃、低応力SiN成膜〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[461] 自動搬送 芝浦スパッタ装置 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス i-Miller CFS-4EP-LL 【仕様・特徴】基板ステージφ220mm、3インチターゲット×4、基板加熱形（最高300℃）、ロードロック付、自動搬送付〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[462] 球面成膜用スパッタ装置 〔リンク〕

和泉テック 【仕様・特徴】球面体（直径1.0、3.3mm）へのスパッタリング、膜種：Au、Cr、Al、Pd、SiO2他、O2プラズ マクリーニング可〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[463] DeepRIE装置#2 〔リンク〕

住友精密 MUC-21 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、メカニカルチャック〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[464] DeepRIE装置#3 〔リンク〕

STS 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、メカニカルチャック〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[465] アネルバ RIE装置 〔リンク〕

アネルバ DEA-506 【仕様・特徴】SiN、SiO2のドライエッチング、ガス：CF4、CHF3〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[466] アネルバ Si-RIE装置 〔リンク〕

アネルバ L-507DL 【仕様・特徴】Siのドライエッチング、ガス：SF6〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[467] Al-RIE 〔リンク〕

芝浦エレテック HIRRIE-100 【仕様・特徴】AlやSiのドライエッチング、カセットtoカセット、ガス：Cl2、BCl3〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[468] アルバック アッシング装置 〔リンク〕

アルバック UNA-2000 【仕様・特徴】2.45GHｚ、カセットtoカセット〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[469] ブランソン アッシング装置 〔リンク〕

ブランソン IPC4000 【仕様・特徴】13.56MHｚ〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[471] アルバック 多用途RIE装置 〔リンク〕

アルバック RIH-1515Z 【仕様・特徴】金属膜や圧電膜も対象とした多目的のドライエッチング、ガス：Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、N2、O2〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[472] KOHエッチング槽 〔リンク〕

【仕様・特徴】Si結晶異方性エッチング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[473] TMAHエッチング槽 〔リンク〕

【仕様・特徴】Si結晶異方性エッチング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[474] DeepRIE装置#4 〔リンク〕

住友精密 MUC-21 【仕様・特徴】Siの深堀エッチング、静電チャック、最大8インチ〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[475] イオンミリング装置 〔リンク〕

エヌ・エス／伯東 20IBE-C 【仕様・特徴】Arイオン、4インチ×6枚、6インチ×3枚〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[476] アルバックICP-RIE 〔リンク〕

アルバック NE-550 【仕様・特徴】SiO2などのドライエッチング、静電チャック、ガス：CF4、CHF3、SF6、Ar、O2、N2、（Cl2、BCl3）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[477] ケミカルドライエッチャー（CDE) 〔リンク〕

芝浦エレテック CDE7 【仕様・特徴】ラジカルによる低ダメージのシリコン等方性ドライエッチング、DRIE後のスキャロップ除去、ガス：CF4、O2、N2〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[478] プラズマクリーナ 〔リンク〕

ヤマト科学 PDC-210 【仕様・特徴】O2またはArによるウェハ表面のプラズマクリーニング、レジストアッシング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[479] ウェハ接合装置 〔リンク〕

Suss SB6e 【仕様・特徴】陽極接合、金属接合、ポリマー接合〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[480] 東京精密 ダイサ 〔リンク〕

東京精密 【仕様・特徴】切削水：純水〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[482] ワイヤボンダ 〔リンク〕

West Bond 【仕様・特徴】Al、Au〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[483] レーザマーカ 〔リンク〕

GSIルモニクス WM-II 【仕様・特徴】ウェハのマーキング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[484] 6インチウェハ研磨装置 〔リンク〕

BNテクノロジー Bni62 【仕様・特徴】Si、SiO2、金属などの研磨、CMP〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[485] 4インチウェハ研磨装置 〔リンク〕

BNテクノロジー Bni52 【仕様・特徴】Si、SiO2、金属などの研磨、CMP〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[487] EVG ウェハ接合装置 〔リンク〕

EVG 520 【仕様・特徴】熱圧着接合用〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[488] EVG ウェハ接合用アライナ 〔リンク〕

EVG Smart View Aligner 【仕様・特徴】IR透過アライメント可能〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[489] UVインプリント装置 〔リンク〕

東芝機械 ST-50 【仕様・特徴】UV光を用いたインプリント装置、ステップ&リピート可能〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[490] 熱インプリント装置 〔リンク〕

オリジン電気 Reprina-T50A 【仕様・特徴】最大650℃、最大30kN〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[491] エキシマ洗浄装置 〔リンク〕

デアネヒステ EXC-1201-DN 【仕様・特徴】ウェハや石英モールド上の有機物の除去〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[493] ウェハゴミ検査装置 〔リンク〕

トプコン WM-3 【仕様・特徴】ウェハ上のパーティクル測定（数、大きさ）〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[494] 膜厚計 〔リンク〕

ナノメトリクス NanoSpec3000 【仕様・特徴】光学式の膜厚測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[495] Dektak 段差計 〔リンク〕

Dektak Dektak 8 【仕様・特徴】触針式の表面形状測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[496] Tenchor 段差計 〔リンク〕

Tenchor AlphaStep 500 【仕様・特徴】触針式の表面形状測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[497] 深さ測定装置 〔リンク〕

ユニオン光学 Hisomet 【仕様・特徴】光学式の非接触深さ測定装置〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[498] 4探針測定装置 〔リンク〕

ナノメトリクス NanoSpec3000 【仕様・特徴】ウェハ抵抗率などの測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[499] 拡がり抵抗測定装置 〔リンク〕

Solid State Measurements SSM150 【仕様・特徴】不純物濃度プロファイルの測定、ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[500] ウェハプローバ 〔リンク〕

東京精密 EM-20A 【仕様・特徴】デバイスの電気特性測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[501] 金属顕微鏡 〔リンク〕

ニコン L150 【仕様・特徴】パターン観察〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[502] FE-SEM 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ S5000 【仕様・特徴】小片専用、インレンズ式の高分解能FESEM〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[503] エリプソ 〔リンク〕

アルバック 【仕様・特徴】薄膜の厚さ、屈折率測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[504] 赤外線顕微鏡 〔リンク〕

オリンパス/浜松ホトニクス 【仕様・特徴】両面アライメントの確認、ウェハ接合面のボイド評価等〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[505] 四重極質量分析装置 〔リンク〕

キヤノンアネルバ M-101QA-TDM 【仕様・特徴】プロセス中の残留ガスのモニタ等〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[507] クイックコータ 〔リンク〕

サンユー電子 SC-701MｋII 【仕様・特徴】SEM観察試料のPtコーティング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[508] 卓上型エリプソ 〔リンク〕

フォトニックラティス SE-101 【仕様・特徴】高速サンプリング可能なエリプソ〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[510] レーザ／白色光共焦点顕微鏡 〔リンク〕

レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD 【仕様・特徴】3次元表面形状測定、DeepRIEのエッチ深さ測定、レーザ光／白色の切替可能、共焦点／非共焦点の切替可能〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[511] 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1 〔リンク〕

【仕様・特徴】固体試料の漏洩弾性表面波(LSAW)速度測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[512] 直線集束ビーム超音波材料解析システム#2 〔リンク〕

【仕様・特徴】固体試料のバルク波（縦波、横波）音速測定〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[539] ウエハ接合装置

SUSS Micro Tec　SB-6e〔設置部局：工学研究科〕

[771] レーザー描画装置①

ハイデルベルグ・インストルメンツ DWL66+　[設置部局：電気通信研究所 ]

[587] ナノスピン熱処理装置（Si室）

システムサービス　[設置部局：電気通信研究所]

[592] SiO2加工ドライエッチング（Si室）

アネルバ　[設置部局：電気通信研究所]

[594] ナノ・スピンメタルスパッタリングシステム（3FCR)

アネルバ　EVP-38877　[設置部局：電気通信研究所]

[596] スパッタ装置（3FCR)

アネルバ　[設置部局：電気通信研究所]

[597] 金属蒸着装置（3FCR)

日本シード研究所　ESE-09　[設置部局：電気通信研究所]

[632] アルバックICP-RIE#2 〔リンク〕

アルバック　CE-300I　【仕様・特徴】SiO2、メタル、サファイアなどの多目的ドライエッチング、静電チャック、ガス：CF4、CHF3、SF6、Ar、O2、N2、Cl2、BCl3　[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[633] アネルバマルチスパッタ 〔リンク〕

アネルバ　SPC-350 【仕様・特徴】1バッチ最大6枚搭載可能（回転機構付）、6インチターゲット×3（DC×2、RF×1：同時放電可能）、基板加熱形（最高650℃）、強磁性体対応、ロードロック付、クライオポンプ　[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[635] マスクレスアライナ〔リンク〕

Heidelberg Instruments MLA150tt 【仕様・特徴】波長：405nm、最小描画線幅：1.0µm、高速直接描画、裏面アライメント可能、最大200mm角〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[647]クリーンルーム

〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[681] ECRロングスロースパッタ 〔リンク〕

エリオニクス EIS-200ERP-NPD-TK 【仕様・特徴】 基板サイズ 小片～6インチ、ターゲット数 2、ターゲット‐ステージ間距離 150mm、コリメータ付、エッチング可〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[682] 住友 TEOS PECVD#2 〔リンク〕

住友精密 APX-Cetus 【仕様・特徴】 TEOS SiO2、SiN、基板サイズ 小片～8インチ、最高温度 350℃、低応力SiN成膜 〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[683] i線ステッパ 〔リンク〕

キヤノン FPA-3030i5+ 【仕様・特徴】 基板サイズ 小片～8インチ、最小線幅 0.35μm以下、重ね合せ精度 40nm、両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応 〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[684]コータデベロッパ 〔リンク〕

SUSS ACS200 Gen3　【仕様・特徴】 基板サイズ 2～8インチ、HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット 〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[685] JEOL FE-SEM 〔リンク〕

日本電子 JSM-6335F 【仕様・特徴】 電界放出型SEM、基板サイズ 小片～4インチ、EDX付 〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[699] 中型ECR堆積装置

〔設置部局：電気通信研究所〕

[700] 小型ECR堆積装置

〔設置部局：電気通信研究所〕

[708] パークシステムズAFM 〔リンク〕

パークシステムズ　NX20 〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[720] 水素アニール装置 〔リンク〕

自作【仕様・特徴】赤外線ランプ加熱、温度：最高1100℃、水素雰囲気におけるSi表面の平滑化処理など　[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[721] EVG プラズマ活性化装置 〔リンク〕

EVG　EVG810　【仕様・特徴】サンプルサイズ：小片～8インチ、直接接合前のプラズマ活性化処理　[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[722] 酸化炉(8″) 〔リンク〕

光洋サーモシステム　MT-10×8-A　【仕様・特徴】サンプルサイズ：小片～8インチ ドライ酸化、ウェット酸化（バブリング） 酸化温度：最大1050℃　[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[736] Zygo Nexview 〔リンク〕

Zygo Nexview　【仕様・特徴】表面形状の精密測定、高さ方向の分解能・精度は0.1nm以下　最大150mm角の大きさに対応〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[765] 自動搬送 芝浦スパッタ装置 冷却型 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL【仕様・特徴】 自動搬送機能付、ロードロックチャンバ付、基板冷却型、最大φ220mm、3インチターゲット×4 [設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[766] 測長SEM 〔リンク〕

日立ハイテク CS4800【仕様・特徴】　レジストパターン等の自動測長、6、8インチ自動搬送、4インチ以下は手動搬送 [設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[767] 8インチマスクアライナ 〔リンク〕

SUSS MicrotTec MA8 GEN3 TOU-01【仕様・特徴】　最大8インチ基板対応のコンタクトアライナ、両面アライメント対応 [設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[768] 真空アニール炉 〔リンク〕

真空理工 RHL-Pss98/98#【仕様・特徴】 真空中での熱処理、赤外線ランプ加熱、最高1000℃、最大4インチ基板対応 [設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[769] シンクロンスパッタ 〔リンク〕

シンクロン RAS-1100BⅡ【仕様・特徴】 4インチ基板対応、36枚同時成膜可能。Si、Ta、Al、W、SiO2、SiN、Ta2O5など成膜可能。[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[770] 半導体パラメータアナライザ 〔リンク〕

Keysight B1500A SMU B1511B x4 GNDU【仕様・特徴】 半導体デバイスの特性評価 [設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[735] エリオニクス 50kV EB描画装置 〔リンク〕

エリオニクス　ELS-7500EXTK　【仕様・特徴】最大加速電圧：50keV〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[018] 生体低分子測定装置 メタボローム解析用質量分析計 イメージング質量分析装置 〔リンク〕

MALDI LTQ XL（Thermo Fisher Scientific）〔設置部局：医学系研究科〕

[019] MALDI-MSイメージングシステム〔リンク〕

AXIMA Performance（島津製作所）〔設置部局：医学系研究科〕

[021] 多検体微量遺伝子定量装置 〔リンク〕

BioMark HD-QPCR(Fluidigm)〔設置部局：医学系研究科〕

[039] レーザーマイクロダイセクション

ArcturusXTTM(Thermo Fisher Scientific)〔設置部局：生命科学研究科〕

[040] マイクロウェーブプロセッサー

H2850(Energy Beam Science)〔設置部局：生命科学研究科〕

[043] 生体分子間相互作用解析装置（Biacore T200 外）

Biacore T200(GE Healthcare Life Sciences) 外〔設置部局：生命科学研究科〕

[173] 超精密生体分子分析装置

〔設置部局：医工学研究科〕

[174] 生体機能画像解析装置

（Leica Microsystems）〔設置部局：医工学研究科〕

[175] 生体適合デバイス特性測定装置

セレバス128chシステム〔設置部局：医工学研究科〕

[176] 硬組織三次元形態解析装置

〔設置部局：医工学研究科〕

[177] 多波長画像解析装置

SC4000-YMR(ﾌﾘｱｰｼｽﾃﾑｽﾞ)〔設置部局：医工学研究科〕

[178] ナノイメージング解析装置

〔設置部局：医工学研究科〕

[179] 生体モデル分析装置

〔設置部局：医工学研究科〕

[180] 神経細胞活動記録解析装置

〔設置部局：医工学研究科〕

[181] 生体電気現象解析処理装置

(ソーラトロン)〔設置部局：医工学研究科〕

[182] 多機能生理学実習装置

(BIOPAC Systems)〔設置部局：医工学研究科〕

[183] マウス・ラット自動飼育装置システム

KIS-160WTU〔設置部局：医工学研究科〕

[184] 高解像度超音波画像解析装置

TKSHD-10CH101〔設置部局：医工学研究科〕

[188] 顕微鏡デジタルカメラ

（オリンパス）〔設置部局：医工学研究科〕

[189] 小動物隔離収容装置

CR-1600THSS〔設置部局：医工学研究科〕

[190] PASシステム

PASシステムスティムレーターＧＤ－601、プログラムユニットＧＤ－602（ＯＧ技研）〔設置部局：病院〕

[210] フローサイトメーター 〔リンク〕

Becton Dickinson　FACS SORP〔設置部局：医学系研究科〕

[211] フローサイトメーター 〔リンク〕

Becton Dickinson　FACS Aria III〔設置部局：医学系研究科〕

[214] ラボラトリーオートメーションシステム

Beckman Coulter　Biomek FXP〔設置部局：医学系研究科〕

[216] ジェネティックアナライザ 〔リンク〕

Life Technologies　Applied Biosystems 3500xL〔設置部局：医学系研究科〕

[217] ジェネティックアナライザ〔リンク〕

Life Technologies Applied Biosystems 3500xL〔設置部局：医学系研究科〕

[218] 低酸素ワークステーション 〔リンク〕

Ruskinn Technology　Sic-Tive Dual TSS SCI-00D TSS〔設置部局：医学系研究科〕

[219] ハイエンドマルチプレートリーダーシステム 〔リンク〕

BMG LABTECH　PHERAstar FS-36 P/N:471-301-6〔設置部局：医学系研究科〕

[220] ナノリッター分注システム Mosquito HTSシステム2Way

TTP Labtech　Mosquito HTS〔設置部局：医学系研究科〕

[221] 分離用超遠心機

日立工機　himac CP80WX〔設置部局：病院〕

[224] フローサイトメーター FACS CantoⅡ

Becton Dickinson〔設置部局：病院〕

[232] 次世代型DNAシーケンサー

Illumina〔設置部局：薬学研究科〕

[280] 次世代シーケンサー MiSeqシステム

Illumina　MS-J-001 〔設置部局：農学研究科〕

[288] 三次元動作分析装置　本体

アニマ　MA-8000〔設置部局：医工学研究科〕

[289] ニューロモジュレーションシステム

Magstim　TYPE2; RogueResearch　Brainsight2〔設置部局：医工学研究科〕

[290] 高精度エネルギー代謝測定システム

アルコシステム　ARCO-2000〔設置部局：医工学研究科〕

[302] in vivoイメージング装置　一式 〔リンク〕

Caliper　IVIS Lumina2 Imaging System〔設置部局：加齢医学研究所〕

[315] 災害関連疾病病態オミックス解析システム

〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[318] 細胞特異的災害ストレス解析システム

全自動磁気細胞分離システム,全自動核酸・たんぱく質抽出システム〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[378] MiSeqシステム

illumina　MiSeq〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[379] 次世代シーケンサー　Hiseq2500-A

illumina　HiSeq2500〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[380] 次世代シーケンサー　Hiseq2500-B

illumina　HiSeq2500〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[395] フローサイトメーター　LSRFortessa

Becton Dickinson　FACS Fortessa〔設置部局：病院〕

[537] ゼーゲミクロトーム（SP1600）

Leica SP1600〔設置部局：歯学研究科〕

[538] クライオスタット（CM3050S）

Leica CM3050S〔設置部局：歯学研究科〕

[556] マイクロアレイスキャナーシステム

illumina　iScan〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[557] ナノ粒子解析システムNanoSight NS300

Malvern Panalytical　NTA5330〔設置部局：病院〕

[558]dd-PCR QX200システム　Droplet Generator

Bio-Rad Laboratories　QX200　1864002TA〔設置部局：病院〕

[559] dd-PCR QX200システム　T100サーマルサイクラー

Bio-Rad Laboratories〔設置部局：病院〕

[560] dd-PCR QX200システム　Droplet Reader

Bio-Rad Laboratories　QX200　1864003TA〔設置部局：病院〕

[614] フローサイトメーター　Attune NxT

Thermo Fisher Scientific　A24858　[設置部局：農学部・農学研究科]

[659] 人工光型小型 ファイトトロン M1

日本医化器械製作所、LPH-0.3PHH〔設置部局：農学研究科〕

[660] 高機能型人工気象室 No.1

日本医化器械製作所、LPH-0.5P-SH〔設置部局：農学研究科〕

[661] 高機能型人工気象室 No.2

日本医化器械製作所、LPH-0.5P-SH〔設置部局：農学研究科〕

[677] リサーチスライドスキャナー〔リンク〕

オリンパス　VS200〔設置部局：医学系研究科〕

[678] データ遠隔解析用ノートパソコン No.1〔リンク〕

DELL Precision 7550Pro〔設置部局：医学系研究科〕

[679] データ遠隔解析用ノートパソコン No.2〔リンク〕

DELL Precision 7550Pro〔設置部局：医学系研究科〕

[680] 次世代シーケンサー DNBSEQ-T7-#3

MGI DNBSEQ-T7〔設置部局：東北メディカル・メガバンク機構〕

[687] ハイスループット性向上システム

Beckman Coulter〔設置部局：薬学研究科〕

[689] ラボラトリーオートメーションシステム

Beckman Coulter〔設置部局：薬学研究科〕

[697] 光合成測定機器

Heinz Walz DUAL-PAM-100〔設置部局：農学研究科〕

[707] デジタルオミックスアナライザー nCounterMAX

NanoString〔設置部局:病院〕

[713] DNA/RNA分析用マイクロチップ電気泳動装置

島津製作所 MCE-202 MuｌｔiNA〔設置部局:農学部・農学研究科〕

[714] リアルタイムPCR解析システム

バイオ・ラッドラボラトリーズ　CFX96 Touch〔設置部局:農学部・農学研究科〕

[715] ユニバーサルコンパクト遠心機

Thermo Fisher Scientific Sorvall ST 8FR〔設置部局:農学部・農学研究科〕

[716] マルチビーズショッカー

安井器械〔設置部局:農学部・農学研究科〕

[717] サーマルサイクラー

Thermo Fisher Scientific MiniAmp Plus〔設置部局:農学部・農学研究科〕

[762] ドラフトチャンバー

Dalton DF-11AK [設置部局：農学研究科]

[728] フロア型超遠心機

Beckman Coulter Optima XE-90〔設置部局:学際科学フロンティア研究所〕

[737] 2光子励起顕微鏡 〔リンク〕

ライカ　TCS SP8 MP STED　【仕様・特徴】マルチフォトン・共焦点レーザ顕微鏡システム、超解像オプション付、細胞の高精細蛍光イメージング〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[742] PDS-1000/He Heptaシステム

Bio-Rad Laboratories〔設置部局:生命科学研究科〕

[745] タンパク質精製クロマトグラフィー

Bio-Rad Laboratories NGC F100〔設置部局:工学研究科〕

[746] バイオシェーカー

タイテック バイオシェーカー G・BR200〔設置部局:工学研究科〕

[101] 低乱熱伝達風洞

※型式:単路回流型風洞(荏原製作所) ※仕様:密閉型測定部､風速5～70m/s､大きさL3.5m×W1.01m､ 開放型測定部､風速5～80m/s､大きさL1.42m×W0.81m 〔設置部局：流体科学研究所〕

[102] 小型低乱風洞

単路回流型(荏原製作所)開放型測定部0.293m正八角形、最高風速65m/s〔設置部局：流体科学研究所〕

[105] 弾道飛行装置

最高射出速度 6km/s､射出形式(ガス銃､一段式火薬銃､二段式軽ガス銃)(ノビテック)〔設置部局：流体科学研究所〕

[171] 無響室

（日本音響エンジニアリング）〔設置部局：電気通信研究所〕

[172] 防音シールド室

（日本音響エンジニアリング）〔設置部局：電気通信研究所〕

[317] 高精度・低消費電力地震波観測装置　一式

〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[319] 複合現実空間災害情報表示設備　一式

"キャノンITソリューションズ MRヘッドマウントディスプレイ MREAL HM-A1"〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[320] 防災・減災情報表示設備　一式

〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[357] 災害記録収集設備

PointGray　全方向デジタルカメラ　Ladybug5　他〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[532] Sabia Art Scanner LiAM S

サビア LiAM S 〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[644] ハイスピードカメラ

Photron Fastcam SA-X2 (1024pix×1024pix 12500fps) 〔設置部局：流体科学研究所〕

[650]感圧塗料計測システム

〔設置部局：流体科学研究所〕

[651]ステレオPIVシステム

ソフトウェア：Dantec Dynamics, Dynamic studio,　カメラ： FlowsenseEO4M(2048pix×2048pix, PIV最大10Hz), ダブルパルスレーザー: Evergreen 200mJ 〔設置部局：流体科学研究所〕

[652]時系列PIVシステム

ソフトウェア：Dantec Dynamics, Dynamic studio,　カメラ： Photron SA-X2(1024pix×1024pix 12,000fps), ダブルパルスレーザー: Photonics Industries DM-30-527 〔設置部局：流体科学研究所〕

[654]ハイスピードカメラ

(米)Vision Research社製 Phantom ｖ2011 〔設置部局：流体科学研究所〕

[704] 高速度カメラ①

フォトロン FASTCAM Mini AX type TT-SP〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[705] 高速度カメラ②

フォトロン FASTCAM Nova S12 Type TT-SP〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[740] ハイスピードカメラ

VisionResearch Phantom VRI-TMX6410-128G-MTH2〔設置部局:国際放射光イノベーション・スマート研究センター〕

[103-1] 高速イオン・中性子ビーム照射装置(サポートあり)

最高ビームエネルギー：陽子・中性子70MeV及び重イオンビーム〔設置部局：サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[103-2] 高速イオン・中性子ビーム照射装置(サポートなし)

最高ビームエネルギー：陽子・中性子70MeV及び重イオンビーム〔設置部局：サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[104] 粒子加速装置（医用小型サイクロトロン）

CYPRIS-HM12(住友重機械工業)〔設置部局：サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[107] 小動物用PET・CT装置

ClairvivoPET・CT（島津製作所）〔設置部局：サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[205] 全身用PETシステム

島津製作所　Eminence-B(SET-3000B/X)〔設置部局：サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕

[540] ダイナミトロン加速器装置

Radiation Dynamics　RPEA-4.5型〔設置部局：工学研究科〕

[701] タンデムペレトロン加速器

National Electronics Corporation 3SDH-2〔設置部局:工学研究科〕

[196] 実変動風荷重載荷装置

〔設置部局：工学研究科〕

[333] レーザー加熱式熱衝撃疲労試験機 〔リンク〕

ミヤチテクノス(現アマダミヤチ） 試験装置一式〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[354] 高温高圧腐食試験装置　一式

東伸工業　SERT-MINI-30PB　最高使用温度圧力：320℃，14MPa 最大負荷荷重：3kN〔設置部局：工学研究科〕

[656] 高温高圧水中応力腐食割れ装置 〔リンク〕

東伸工業　試験装置一式　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[662] 2軸2連高温高圧腐食試験装置 〔リンク〕

東伸工業 2M-SERT-30〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[663] オートクレーブ付SERT試験装置 〔リンク〕

東伸工業 試験装置一式 (試験装置、SERT-MINI-20PT型、循環装置20MP-09-350型）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[709] 超臨界水中酸化試験装置

〔設置部局:工学研究科〕

[710] 実荷重多点載荷システム

三菱重工業〔設置部局:工学研究科〕

[291] スーパーコンピューティングシステム （共同利用･共同研究拠点他 設備） 〔リンク〕

日立製作所　MASAMUNE-IMR〔設置部局：金属材料研究所〕

[316] データベース長期保存システム

〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[356] 災害解析用計算機システム　一式

〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[693] スーパーコンピュータAOBA （サブシステムA） 〔リンク〕

日本電気　SX-Aurora TSUBASA　[設置部局：サイバーサイエンスセンター]

[694] スーパーコンピュータAOBA　（サブシステムB） 〔リンク〕

日本電気　LX 406Rz-2　[設置部局：サイバーサイエンスセンター]

[695] 三次元アトムプローブ測定データ用解析ワークステーション

DELL　ワークステーション　Precision 7920 タワー　XCTO ベース〔設置部局：金属材料研究所〕

[281] 農水産物・食品および土壌放射能測定装置

ORTEC　GEM30P4-70〔設置部局：農学研究科〕

[706] 液体シンチレーションシステム

LSC-7400〔設置部局:サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター〕