[070] 微細加工システム　FIB/SEMデュアルビームシステム

FEI Electron Optics Helios600i〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[109] 電子線描画装置

JBX-9300SA（日本電子） 100keV電子ビーム（スポットビーム） 〔設置部局：電気通信研究所〕

[112] 高電圧パルス選択性粉砕装置 〔リンク〕

SELFRAG AG　SELFRAG Lab S2.0〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[200] 真空凍結乾燥システム

TF20-80TNN〔設置部局：災害科学国際研究所〕

[237] 極微細スピンメモリ素子用電子描画装置 〔リンク〕

日本電子　JBX-6300SK〔設置部局：工学研究科〕

[242] レーザー直線描画装置　一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik　DWL2000SD〔設置部局：工学研究科〕

[244] 住友精密工業(株)製 Deep RIE装置　一式 〔リンク〕

住友精密工業　MUC21 SR〔設置部局：工学研究科〕

[249] マスク露光システム装置 〔リンク〕

SUSS MicroTec　MA8 Gen3 Thu1〔設置部局：工学研究科〕

[255] デジタル電動サーボプレス

アマダ　SDE2025SF〔設置部局：工学研究科〕

[256] イオンビームミリング装置 エンドポイント分析器仕様 〔リンク〕

伯東　IBE-KDC75-TU-T-S〔設置部局：工学研究科〕

[267] イオンビームミリング装置 〔リンク〕

伯東　IBE-KDC75-THKU-ST〔設置部局：工学研究科〕

[270] リアクティブイオンエッチング装置　一式 〔リンク〕

サムコ　RIE-10NR　一式〔設置部局：工学研究科〕

[389] SSP3000 スパッタ装置 〔リンク〕

菅製作所　AV301-B2〔設置部局：工学研究科〕

[481] ディスコ ダイサ 〔リンク〕

ディスコ DAD522 【仕様・特徴】切削水：水道水〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[486] サンドブラスト 〔リンク〕

新東 【仕様・特徴】ガラスの穴あけ加工〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[492] ウォーターレーザ 〔リンク〕

澁谷工業 LAMICS AQL-1900【仕様・特徴】シリコンウェハや金属薄板の加工（ガラスなどの透明材料はNG）、最小加工線幅：約70μm[設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター]

[519] ペガサスA 〔リンク〕

SPPテクノロジーズMPX　Pegasus-Advanced 〔設置部局：工学研究科〕

[523] 断面試料作製研磨装置 〔リンク〕

クノーテクノクラフト　TIC3X-KN-SP 〔設置部局：工学研究科〕

[524] ダイサー 〔リンク〕

ディスコ　DAD3240 〔設置部局：工学研究科〕

[525] SPT-RIE装置 〔リンク〕

SPPテクノロジーズ MUC-21 ASE-SRE-TO 〔設置部局：工学研究科〕

[544] 赤外線加熱合成炉

クリスタルシステム FZ-4-10K-K-M〔設置部局：金属材料研究所〕

[545] 赤外線加熱単結晶育成装置

キャノンマシナリー SC-K15HD〔設置部局：金属材料研究所〕

[546] 赤外線加熱単結晶育成装置(整備品)

キャノンマシナリー SCII-EDH-KS〔設置部局：金属材料研究所〕

[551] イオンミリング加工装置 〔リンク〕

FISCHINE MODEL 1010〔設置部局：金属材料研究所〕

[552] イオンスライサ加工装置 〔リンク〕

日本電子 EM-09100 IS〔設置部局：金属材料研究所〕

[553] オスミウムコータ 〔リンク〕

メイワフォーシス　NEOC-PRO〔設置部局：金属材料研究所〕

[554] 3Dプリンターシステム

Stratasys　uPrint SE〔設置部局：AIMR〕

[563] プラズマアッシャー①

ヤマト科学 PR500　[設置部局：電気通信研究所]

[564] UVオゾンクリーナー

サムコ UV-1　[設置部局：電気通信研究所]

[565] プラズマアッシャー②

ヤマト科学 V1000-TS　[設置部局：電気通信研究所]

[566] マスクアライナー①

SUSS MJB-4　[設置部局：電気通信研究所]

[567] 金属顕微鏡

オリンパス MX50A/T　[設置部局：電気通信研究所]

[568] レーザー顕微鏡

レーザーテック 1LM21　[設置部局：電気通信研究所]

[569] SEM前処理用スパッタ

サンユー電子 SC-701AT　[設置部局：電気通信研究所]

[570] スピンコーター①

ミカサ 1H-360S　[設置部局：電気通信研究所]

[773] 超音波洗浄器

アズワン USK-3R　[設置部局：電気通信研究所]

[571] スピンコーター②

ミカサ MS-A150　[設置部局：電気通信研究所]

[572] スピンコーター③

ミカサ MS-A150　[設置部局：電気通信研究所]

[573] スピンコーター④

ミカサ MS-A200　[設置部局：電気通信研究所]

[574] ホットプレート①

PMC720　[設置部局：電気通信研究所]

[575] ホットプレート②

アズワン HP-1SA　[設置部局：電気通信研究所]

[576] ホットプレート③

アズワン HHP-230SQ　[設置部局：電気通信研究所]

[577] 恒温槽①

ヤマト科学 CTA401　[設置部局：電気通信研究所]

[578] 恒温槽②

KELK ACE-10AN　[設置部局：電気通信研究所]

[580] UVキュア

ウシオ電機 UIS-5011 MIKY-AGG01　[設置部局：電気通信研究所]

[579] リソグラフィー関連（超音波洗浄器(USK-2R)）

アズワン USK-2R　[設置部局：電気通信研究所]

[581] 真空定温乾燥機

ヤマト科学 ADP300　[設置部局：電気通信研究所]

[584] マスクアライナー②

SUSS MJB-3　[設置部局：電気通信研究所]

[585] レーザー描画装置②

Heidelberg Instruments DWL200　[設置部局：電気通信研究所]

[586] マスクアライナー③

SUSS MJB-3　[設置部局：電気通信研究所]

[595] ボンダー（A408）

WEST・BOND　7476D　[設置部局：電気通信研究所]

[600] 接触段差計

アルバック　DekTak150　[設置部局：電気通信研究所]

[602] マスクアライナー（3FCR）

SUSS MicroTec　MJB4　[設置部局：電気通信研究所]

[603] レーザー直接描画装置

ネオアーク　DDB-201-TU375　[設置部局：電気通信研究所]

[606] スピン材料微細加工装置(ANELVAミリング)

アネルバ EVP-38763　[設置部局：電気通信研究所]

[607] スピン材料微細加工装置(絶縁膜堆積)

アネルバ EVP-38779　[設置部局：電気通信研究所]

[608] 絶縁膜堆積CVD

アルバック　CC-200　[設置部局：電気通信研究所]

[609] 磁性材料RIE(RIE#2)

アルバック　NE-550　[設置部局：電気通信研究所]

[610] 非磁性金属・絶縁膜RIE(RIE#1)

アルバック　NE-550　[設置部局：電気通信研究所]

[653]キーエンス製 3Dプリンタ

KEYENCE　AGILISTA-3100 〔設置部局：流体科学研究所〕

[691] OKK製立型マシニングセンタ

OKK　VM-53R〔設置部局：流体科学研究所〕

[692] FANUC製小型立型マシニングセンタ

ファナック　ROBODRILL α-D14LiA5〔設置部局：流体科学研究所〕

[702] 電顕用イオンミリング加工装置

日本電子 GATAN　PIPS691〔設置部局:工学研究科〕

[763] ワイヤ放電加工機

ブラザー工業（和泉テック） HS300 [設置部局：金属材料研究所]

[725] オートマチックダイシングソー

ディスコ　DAD-522〔設置部局:電気通信研究所〕

[759] 原子層堆積装置 〔リンク〕

Veeco　Savannah S100 [設置部局：工学研究科]

[738] サブフェムト・インクジェット 〔リンク〕

SIJテクノロジー　PR-150THU　【仕様・特徴】最小線幅：約5um　金や銀などの微細なパターン形成〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[739] 光造形3Dプリンター 〔リンク〕

DigitalWAX 028J-PLUS　【仕様・特徴】最小積層ピッチ：0.01mm、最大造形サイズ：90mm x 90mm x 90mm〔設置部局：マイクロシステム融合研究開発センター〕

[755] イオンミリング装置 (PIPSⅡ) 〔リンク〕

GATAN〔設置部局:金属材料研究所〕