国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

(微細)加工・工作・処理・試料作製

[070] 微細加工システム FIB/SEMデュアルビームシステム

FEI Electron Optics Helios600i〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[077] 熱溶解樹脂積層3次元造型機システム

FORTUS400mc-L(Stratasys)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[078] (株)キーエンス製 高精細3Dプリンタ一式

AGILISTA-3100(KEYENCE)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕

[112] 高電圧パルス選択性粉砕装置 〔リンク〕

SELFRAG AG SELFRAG Lab S2.0〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[128] 粉末硬化型カラー造形装置一式

Projet 460 Plus(3D Systems)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[191] 電子ビーム描画装置

ELS-7500EX(電子ビーム加速電圧:50kV)〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[194] 超微細インクジェット装置

SIJテクノロジ PR-150THU型〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[200] 真空凍結乾燥システム

TF20-80TNN〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[237] 極微細スピンメモリ素子用電子描画装置 〔リンク〕

日本電子 JBX-6300SK〔設置部局:工学研究科〕

[242] レーザー直線描画装置 一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik DWL2000SD〔設置部局:工学研究科〕

[244] 住友精密工業(株)製 Deep RIE装置 一式 〔リンク〕

住友精密工業 MUC21 SR〔設置部局:工学研究科〕

[249] マスク露光システム装置 〔リンク〕

SUSS MicroTec MA8 Gen3 Thu1〔設置部局:工学研究科〕

[255] デジタル電動サーボプレス

アマダ SDE2025SF〔設置部局:工学研究科〕

[256] イオンビームミリング装置 エンドポイント分析器仕様 〔リンク〕

伯東 IBE-KDC75-TU-T-S〔設置部局:工学研究科〕

[267] イオンビームミリング装置 〔リンク〕

伯東 IBE-KDC75-THKU-ST〔設置部局:工学研究科〕

[270] リアクティブイオンエッチング装置 一式 〔リンク〕

サムコ RIE-10NR 一式〔設置部局:工学研究科〕

[358] (米)Delta Micro Factory社製ハンディ3D

Artec Spider〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[389] SSP3000 スパッタ装置 〔リンク〕

菅製作所 AV301-B2〔設置部局:工学研究科〕

[481] ディスコ ダイサ 〔リンク〕

ディスコ DAD522 【仕様・特徴】切削水:水道水〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[486] サンドブラスト 〔リンク〕

新東 【仕様・特徴】ガラスの穴あけ加工〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[492] ウォーターレーザ 〔リンク〕

澁谷工業 LAMICS AQL-1900 【仕様・特徴】シリコンウェハや金属薄板の加工(ガラスなどの透明材料はNG)、最小加工線幅:約70μm〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[519] ペガサスA 〔リンク〕

SPPテクノロジーズMPX Pegasus-Advanced 〔設置部局:工学研究科〕

[522] マルチターゲットスパッタ 〔リンク〕

旭商会 EIA-TLR-003 〔設置部局:工学研究科〕

[523] 断面試料作製研磨装置 〔リンク〕

クノーテクノクラフト TIC3X-KN-SP 〔設置部局:工学研究科〕

[524] ダイサー 〔リンク〕

ディスコ DAD3240 〔設置部局:工学研究科〕

[525] SPT-RIE装置 〔リンク〕

SPPテクノロジーズ MUC-21 ASE-SRE-TO 〔設置部局:工学研究科〕

[544] 赤外線加熱合成炉

クリスタルシステム FZ-4-10K-K-M〔設置部局:金属材料研究所〕

[545] 赤外線加熱単結晶育成装置

キャノンマシナリー SC-K15HD〔設置部局:金属材料研究所〕

[546] 赤外線加熱単結晶育成装置(整備品)

キャノンマシナリー SCII-EDH-KS〔設置部局:金属材料研究所〕

[551] イオンミリング加工装置 〔リンク〕

FISCHINE MODEL 1010〔設置部局:金属材料研究所〕

[552] イオンスライサ加工装置 〔リンク〕

日本電子 EM-09100 IS〔設置部局:金属材料研究所〕

[553] オスミウムコータ 〔リンク〕

メイワフォーシス NEOC-PRO〔設置部局:金属材料研究所〕

[554] 3Dプリンターシステム

Stratasys uPrint SE〔設置部局:AIMR〕

[563] アッシングシステム(PR500)

ヤマト科学 PR500 [設置部局:電気通信研究所]

[564] アッシングシステム(UV-1)

サムコ UV-1 [設置部局:電気通信研究所]

[565] プラズマアッシャー(V1000-TS)

ヤマト科学 V1000-TS [設置部局:電気通信研究所]

[566] マスクアライナ(MJB-4 090)

SUSS MJB-4 [設置部局:電気通信研究所]

[567] リソグラフィー関連(金属顕微鏡 MX50A/T)

オリンパス MX50A/T [設置部局:電気通信研究所]

[568] リソグラフィー関連(レーザー顕微鏡 1LM21)

レーザーテック 1LM21 [設置部局:電気通信研究所]

[569] リソグラフィー関連(SEM用スパッタ)

サンユー電子 SC-701AT [設置部局:電気通信研究所]

[570] リソグラフィー関連(スピンコーター 1H-360S(EBレジスト用))

ミカサ 1H-360S [設置部局:電気通信研究所]

[571] リソグラフィー関連(スピンコーター MS-A150(U4ベンチ))

ミカサ MS-A150 [設置部局:電気通信研究所]

[572] リソグラフィー関連(スピンコーター MS-A150(U13ベンチ))

ミカサ MS-A150 [設置部局:電気通信研究所]

[573] リソグラフィー関連(スピンコーター MS-A200(3FCR))

ミカサ MS-A200 [設置部局:電気通信研究所]

[575] リソグラフィー関連(ホットプレート HP-1SA (U4ベンチ))

アズワン HP-1SA [設置部局:電気通信研究所]

[576] リソグラフィー関連(ホットプレート HHP-230SQ (U13ベンチ))

アズワン HHP-230SQ [設置部局:電気通信研究所]

[577] リソグラフィー関連(CTA401 クールニクス サーキュレータ)

ヤマト科学 CTA401 [設置部局:電気通信研究所]

[578] リソグラフィー関連(クールビット(ACE-10AN))

KELK ACE-10AN [設置部局:電気通信研究所]

[580] リソグラフィー関連(UVキュア (ホットプレート含む))

ウシオ電機 UIS-5011 MIKY-AGG01 [設置部局:電気通信研究所]

[579] リソグラフィー関連(超音波洗浄器(USK-2R))

アズワン USK-2R [設置部局:電気通信研究所]

[581] リソグラフィー関連(ベーク炉)

ヤマト科学 ADP300 [設置部局:電気通信研究所]

[585] スピンデバイス用リソグラフィ装置(マスク描画DWL200)

Heidelberg Instruments DWL200 [設置部局:電気通信研究所]

[586] スピンデバイス用リソグラフィ装置(アライナ)

SUSS MJB-3 [設置部局:電気通信研究所]

[595] ボンダー(A408)

WEST・BOND 7476D [設置部局:電気通信研究所]

[600] 接触段差計

アルバック DekTak150 [設置部局:電気通信研究所]

[602] マスクアライナー(3FCR)

SUSS MicroTec MJB4 [設置部局:電気通信研究所]

[603] レーザー直接描画装置

ネオアーク DDB-201-TU375 [設置部局:電気通信研究所]

[606] スピン材料微細加工装置(ANELVAミリング)

アネルバ EVP-38763 [設置部局:電気通信研究所]

[607] スピン材料微細加工装置(絶縁膜堆積)

アネルバ EVP-38779 [設置部局:電気通信研究所]

[608] 絶縁膜堆積CVD

アルバック CC-200 [設置部局:電気通信研究所]

[609] 磁性材料RIE(RIE#2)

アルバック NE-550 [設置部局:電気通信研究所]

[610] 非磁性金属・絶縁膜RIE(RIE#1)

アルバック NE-550 [設置部局:電気通信研究所]

[653]キーエンス製 3Dプリンタ

KEYENCE AGILISTA-3100 〔設置部局:流体科学研究所〕

[691] OKK製立型マシニングセンタ

OKK VM-53R〔設置部局:流体科学研究所〕

[692] FANUC製小型立型マシニングセンタ

ファナック ROBODRILL α-D14LiA5〔設置部局:流体科学研究所〕

学内向けページ

TSC星陵サテライト限定ページ

設備利用支援制度

東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

産学連携機構

トップへ戻る