国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

(微細)加工・工作・処理

[070] 微細加工システム FIB/SEMデュアルビームシステム

Helios 600i(FEI)〔設置部局:産学連携先端材料研究開発センター〕

[077] 熱溶解樹脂積層3次元造型機システム

FORTUS400mc-L(Stratasys)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[078] (株)キーエンス製 高精細3Dプリンタ一式

AGILISTA-3100(KEYENCE)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[108] 光学薄膜作製装置

HPS-510S、EGK-3M(アルバック)〔設置部局:電気通信研究所〕

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕

[110] 電子ビーム描画装置

JBX-9000ZB(日本電子) 50keV電子ビーム(可変成形ビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕

[112] 高電圧パルス選択性粉砕装置 〔リンク〕

SELFRAG AG SELFRAG Lab S2.0〔設置部局:多元物質科学研究所〕

[128] 粉末硬化型カラー造形装置一式

Projet 460 Plus(3D Systems)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[191] 電子ビーム描画装置

ELS-7500EX(電子ビーム加速電圧:50kV)〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[194] 超微細インクジェット装置

SIJテクノロジ PR-150THU型〔設置部局:イノベーション戦略推進センター〕

[200] 真空凍結乾燥システム

TF20-80TNN〔設置部局:災害科学国際研究所〕

[237] 極微細スピンメモリ素子用電子描画装置 〔リンク〕

日本電子 JBX-6300SK〔設置部局:工学研究科〕

[242] レーザー直線描画装置 一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik DWL2000SD〔設置部局:工学研究科〕

[244] 住友精密工業(株)製 Deep RIE装置 一式 〔リンク〕

住友精密工業 MUC21 SR〔設置部局:工学研究科〕

[255] デジタル電動サーボプレス

アマダ SDE2025SF〔設置部局:工学研究科〕

[256] イオンビームミリング装置 エンドポイント分析器仕様 〔リンク〕

伯東 IBE-KDC75-TU-T-S〔設置部局:工学研究科〕

[267] イオンビームミリング装置 〔リンク〕

伯東 IBE-KDC75-THKU-ST〔設置部局:工学研究科〕

[270] リアクティブイオンエッチング装置 一式 〔リンク〕

サムコ RIE-10NR 一式〔設置部局:工学研究科〕

[277] Eマシニング用同時5軸NC加工システム

高島産業〔設置部局:工学研究科〕

[297] テトラアーク型単結晶引上装置 〔リンク〕

ジー・イー・エス TAC-32109〔設置部局:金属材料研究所〕

[309] 高清浄熱処理炉

WAF3000〔設置部局:電気通信研究所〕

[358] (米)Delta Micro Factory社製ハンディ3D

Artec Spider〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[389] SSP3000 スパッタ装置 〔リンク〕

菅製作所 AV301-B2〔設置部局:工学研究科〕

[481] ディスコ ダイサ 〔リンク〕

ディスコ DAD522 【仕様・特徴】切削水:水道水〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[486] サンドブラスト 〔リンク〕

新東 【仕様・特徴】ガラスの穴あけ加工〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[492] ウォーターレーザ 〔リンク〕

澁谷工業 LAMICS AQL-1900 【仕様・特徴】シリコンウェハや金属薄板の加工(ガラスなどの透明材料はNG)、最小加工線幅:約70μm〔設置部局:マイクロシステム融合研究開発センター〕

[519] ペガサスA 〔リンク〕

SPPテクノロジーズMPX Pegasus-Advanced 〔設置部局:工学研究科〕

[522] マルチターゲットスパッタ 〔リンク〕

旭商会 EIA-TLR-003 〔設置部局:工学研究科〕

[523] 断面試料作製研磨装置 〔リンク〕

クノーテクノクラフト TIC3X-KN-SP 〔設置部局:工学研究科〕

[524] ダイサー 〔リンク〕

ディスコ DAD3240 〔設置部局:工学研究科〕

[525] SPT-RIE装置 〔リンク〕

SPPテクノロジーズ MUC-21 ASE-SRE-TO 〔設置部局:工学研究科〕

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