[011] X線構造解析装置（CCD搭載高輝度X線構造解析システム）

ULTRA/THK（BrukerAX）〔設置部局：理学研究科〕

[012] X線構造解析装置（単結晶自動X線構造解析装置）

Vari Max with RAPID（リガク）〔設置部局：理学研究科〕

[026] 超精密格子定数測定用Ｘ線回折装置

SuperLab(リガク)〔設置部局：電気通信研究所〕

[027] 高分解能Ｘ線回折装置

X`Pert PRP MRD(PANalytical/Spectris(Philips Analytical))〔設置部局：電気通信研究所〕

[068] 多目的Ｘ線結晶構造解析システム

SmartLab 3G(リガク)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[069] 多目的Ｘ線結晶構造解析システム

VariMax DW with IP(リガク)〔設置部局：産学連携先端材料研究開発センター〕

[226] マイクロフォーカスX線CT装置(ScanXmate-E090)

コムスキャンテクノ　ScanXmate-E090〔設置部局：歯学研究科〕

[275] 多機能薄膜X線回折装置 D8DISCOVER-TM 一式

BrukerAX　D8DISCOVER-TM〔設置部局：工学研究科〕

[279] 全自動波長分散型蛍光X線分析装置 〔リンク〕

BrukerAX　S8 TIGER(1kW)〔設置部局：工学研究科〕

[311] 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置　1式 〔リンク〕

リガク　ZSX Primus Ⅱ-TX 〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[365] 差動排気型光電子分光分析（XPS）装置

ScientaOmicron　R4000-Hipp2型〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[366] 薄膜表面評価用インプレーンＸ線回折装置

リガク　SmartLab 90TF〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[386] インプレーンＸ線回折装置 ATX/in-plane

リガク　ATX/in-plane〔設置部局：工学研究科〕

[387] 薄膜構造評価用Ｘ線回折装置 ATX-G/TS

リガク　ATX-G/TS〔設置部局：工学研究科〕

[416] Ｘ線位相スキャナ

〔設置部局：多元物質科学研究所〕

[521] ESCA分析装置 〔リンク〕

アルバック・ファイ　Model　3057VC 〔設置部局：工学研究科〕

[528] X線装置 〔リンク〕

パナリティカル 〔設置部局：金属材料研究所〕

[529] 多目的Ｘ線回折複合システム

リガク　SmartLab9MTP､RASCO 3M 〔設置部局：AIMR〕

[599] 多機能薄膜材料評価X線回折装置

Bruker D8 Discover　[設置部局：電気通信研究所]

[615] 強力X線粉末構造解析装置

リガク RINT-2500LAUE　[設置部局：金属材料研究所]

[616] 単結晶試料方位確認装置(ラウエ)

マックサイエンス M03XHF-E　[設置部局：金属材料研究所]

[698] 全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置

TREX 610〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[724] X線回折装置

リガク RINT2200〔設置部局:電気通信研究所〕