[061] レオメータ

RS-CPSコーンプレート型(Brookfield)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[064] 接触角・表面張力計

DM-301(協和界面科学)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[065] 摩擦試験機

UNMT-1MT-WS(Bruker AXS)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[113] ウェットベンチ(無機用・高清浄)

HNCD-4-SL #1（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[114] ウェットベンチ(無機用・汎用)

HNCD-4-SL #2（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[115] ウェットベンチ(無機用・メタル専用)

HNCD-4-SL #3（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[116] ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)

HNCD（日立プラント）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[117] 特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置

200SP（エス・イー・エス）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[118] KrFステッパ

FPA3000-EX3（キヤノン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[119] コータデベロッパ

Mark8（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[120] アライナー

EMA-400（ユニオン光学）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[121] 中電流イオン注入装置

EXCEED2300AH（日新イオン機器）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[122] 低温拡散炉、水素処理炉

東京エレクトロン　BEOL炉（α-8SE）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[123] プラズマ酸化・窒化

RLSA 2B（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[124] LPCVD装置

Formula（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[125] マイクロ波プラズマCVD装置（SiN）

LT-PECVD（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[126] 常圧CVD装置

PYROX-216E（TEMPRESS）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[127] マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置

（東京エレクトロン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[132] 特殊型室温枚葉洗浄装置A

金属薄膜用洗浄装置（リアライズ ・アドバンストテクノロジ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[133] 特殊型密閉型洗浄装置B

（リアライズ・アドバンストテクノロジ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[134] 電子ビーム露光装置

CABL-9520CE（クレステック）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[135] RTA装置B

RLA-1208-V（光洋サーモシステム）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[137] 高温熱処理装置(1200℃)

VD-8-300S（V&Hテクノロジーズ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[142] クラスタスパッタ装置

IZU-2500H（和泉テック）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[147] オールメタル装置（プラズマ平坦化）

（和泉テック）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[154] CMP後洗浄装置

（リアライズ ・アドバンストテクノロジ）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[155] 蛍光X線分析装置(XRF)

SEA1000A（日立ハイテクサイエンス（エスアイアイ・ナノテクノロジー））〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[156] パーティクル検査装置A

WM2500（トプコン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[157] XRD

X'pert MRD（PANalytical/Spectris）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[158] 分光エリプソメトリー

UVISEL/M200-VIS（堀場製作所）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[159] 低温プローバ

ARK-LIPS（ナガセ電子機器（ナガセテクノエンジニアリング））〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[160] ソーラシミュレータ

WXS-90S-L2（ワコム電創）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[161] FE-SEM

JSM-6700F（日本電子）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[162] 顕微鏡

MX50（オリンパス）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[163] 抵抗率測定器

VR-120S（国際電気アルファ（日立国際電気））〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[165] 段差計

DECTAK（Bruker Nano）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[166] 300mm高周波対応マニュアルプローバ

S300M-973（ベクターセミコン）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[167] マニュアルプローバ　cascade　8inch,1/fノイズ計測システム付

SQ-S11861B（Cascade Microtech）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[168] 薄膜密度計

MH4000（NEC三栄）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[169] n&k測定装置

（n&k Technology）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[170] 水銀プローブ

CVmap92A（雄山）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[197] 200mmウェーハ対応原子間力顕微鏡

N9455A（サカタ理化学）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[331] 走査型電子顕微鏡（FE-SEM） 〔リンク〕

日立ハイテク SU-70（EDS・EBSD付属）、S-3400N、IM-4000〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[333] レーザー加熱式熱衝撃疲労試験機 〔リンク〕

ミヤチテクノス(現アマダミヤチ） 試験装置一式〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[334] ダイナミック微小硬度計 〔リンク〕

島津製作所 DUH-211S〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[335] デジタル画像相関ひずみ計測システム 〔リンク〕

Correlated Solutions DICシステム一式〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[336] MSEP-PVクラスタ

大亜真空〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[365] 差動排気型光電子分光分析（XPS）装置

ScientaOmicron　R4000-Hipp2型〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[366] 薄膜表面評価用インプレーンＸ線回折装置

リガク　SmartLab 90TF〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[367] 微細表面構造計測顕微鏡

島津製作所　SFT-3500 MS-200AS〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[368] マクロトライボロジー試験機

BrukerAX　UMT3-HTRD〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[369] 顕微赤外分光装置

日本分光　フーリエ変換赤外分光光度計(FT/IR-6300), 赤外顕微鏡(IRT-5000)〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[370] マイクロビッカース硬度計

島津製作所　HMV-21DT〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[371] 表面粗さ測定機

ミツトヨ　SV-3100S4〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[517] 共振ずり測定装置

アルバック理工　RSM-1〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[620] 顕微ラマン分光分析装置 〔リンク〕

堀場製作所　LabRAM HR800　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[621] ナノレンジ押し込み硬さ試験機 〔リンク〕

フィッシャー・インストルメンツ　PICODENTOR HM500　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[622] デジタルビッカース硬さ試験機 〔リンク〕

マツザワ　VMT-X7S　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[623] ショア硬度計 〔リンク〕

今井精機　 ショア硬度計D型　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[624] 油圧サーボ式材料疲労試験装置 (1) 〔リンク〕

MTS　MODEL 810　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[625] 油圧サーボ式材料疲労試験装置 (2) 〔リンク〕

MTS　MODEL 810　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[626] 小野式回転曲げ疲労試験装置 〔リンク〕

東京衡機 ORB-10B　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[627] 小野式回転曲げ疲労試験装置(高温炉付) 〔リンク〕

東京衡機 ORB-10C　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[629] 熱分析装置 〔リンク〕

リガク　Thermo plus EVO 2 シリーズ(TG 8121、DSC 8231)　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[630] アコースティックエミッション装置 〔リンク〕

Physical Acoustics　AEシステム一式　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[631] 小型表面粗さ測定機 〔リンク〕

小坂研究所　SE 300-39　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[645]ボール・オン・リング型　摩擦試験機

Phenix Tripology　TE54 〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[646]摩擦磨耗試験機

（株）スター精機　UED08-3 〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[647]クリーンルーム

〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[656] 高温高圧水中応力腐食割れ装置 〔リンク〕

東伸工業　試験装置一式　[設置部局：未来科学技術共同研究センター]

[662] 2軸2連高温高圧腐食試験装置 〔リンク〕

東伸工業 2M-SERT-30〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[663] オートクレーブ付SERT試験装置 〔リンク〕

東伸工業 試験装置一式 (試験装置、SERT-MINI-20PT型、循環装置20MP-09-350型）〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[664] 光学顕微鏡 〔リンク〕

ニコン LV150 FMモジュールセット〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[665] 実体顕微鏡ティーチングシステム 〔リンク〕

ニコン SMZ1500〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[698] 全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置

TREX 610〔設置部局：未来科学技術共同研究センター〕

[719] 超微量粘度計

〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕