国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

未来科学技術共同研究センター

[077] 熱溶解樹脂積層3次元造型機システム

FORTUS400mc-L(Stratasys)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[078] (株)キーエンス製 高精細3Dプリンタ一式

AGILISTA-3100(KEYENCE)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[079] リアルタイム3次元動作解析システム

Raptor-H(ナックイメージテクノロジー)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[084] ドライビングシミュレーターシステム

NMS-612EII11500、ドライビングシミュレーター用6軸電動動揺装置一式(三菱プレシジョン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[113] ウェットベンチ(無機用・高清浄)

HNCD-4-SL #1(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[114] ウェットベンチ(無機用・汎用)

HNCD-4-SL #2(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[115] ウェットベンチ(無機用・メタル専用)

HNCD-4-SL #3(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[116] ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)

HNCD(日立プラント)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[117] 特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置

200SP(エス・イー・エス)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[118] KrFステッパ

FPA3000-EX3(キヤノン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[119] コータデベロッパ

Mark8(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[120] アライナー

EMA-400(ユニオン光学)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[121] 中電流イオン注入装置

EXCEED2300AH(日新イオン機器)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[122] 低温拡散炉、水素処理炉

東京エレクトロン BEOL炉(α-8SE)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[123] プラズマ酸化・窒化

RLSA 2B(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[124] LPCVD装置

Formula(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[125] マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)

LT-PECVD(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[126] 常圧CVD装置

PYROX-216E(TEMPRESS)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[127] マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置

(東京エレクトロン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[128] 粉末硬化型カラー造形装置一式

Projet 460 Plus(3D Systems)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[129] 東洋システム(株)充放電評価装置 TOSCAT-3000

TOSCAT-3000(東洋システム)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[132] 特殊型室温枚葉洗浄装置A

金属薄膜用洗浄装置(リアライズ ・アドバンストテクノロジ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[133] 特殊型密閉型洗浄装置B

(リアライズ・アドバンストテクノロジ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[134] 電子ビーム露光装置

CABL-9520CE(クレステック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[135] RTA装置B

RLA-1208-V(光洋サーモシステム)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[137] 高温熱処理装置(1200℃)

VD-8-300S(V&Hテクノロジーズ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[142] クラスタスパッタ装置

IZU-2500H(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[143] 汎用酸素ラジカル処理装置

(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[147] オールメタル装置(プラズマ平坦化)

(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[149] 33mmプラズマチャンバー装置(MO)

(和泉テック)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[150] ワイヤーボンダー

〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[151] CMP装置(1)

APD-800X(ARACA)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[152] CMP装置(2)

APD-800X(ARACA)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[154] CMP後洗浄装置

(リアライズ ・アドバンストテクノロジ)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[155] 蛍光X線分析装置(XRF)

SEA1000A(日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ・ナノテクノロジー))〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[156] パーティクル検査装置A

WM2500(トプコン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[157] XRD

X'pert MRD(PANalytical/Spectris)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[158] 分光エリプソメトリー

UVISEL/M200-VIS(堀場製作所)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[159] 低温プローバ

ARK-LIPS(ナガセ電子機器(ナガセテクノエンジニアリング))〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[160] ソーラシミュレータ

WXS-90S-L2(ワコム電創)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[161] FE-SEM

JSM-6700F(日本電子)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[162] 顕微鏡

MX50(オリンパス)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[163] 抵抗率測定器

VR-120S(国際電気アルファ(日立国際電気))〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[165] 段差計

DECTAK(Bruker Nano)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[166] 300mm高周波対応マニュアルプローバ

S300M-973(ベクターセミコン)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[167] マニュアルプローバ cascade 8inch,1/fノイズ計測システム付

SQ-S11861B(Cascade Microtech)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[168] 薄膜密度計

MH4000(NEC三栄)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[169] n&k測定装置

(n&k Technology)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[170] 水銀プローブ

CVmap92A(雄山)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[197] 200mmウェーハ対応原子間力顕微鏡

N9455A(サカタ理化学)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[331] 走査型電子顕微鏡 1式 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ SU-70、S-3400N、EDX〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[332] グロー放電発光表面分析装置 一式 〔リンク〕

堀場製作所 GD-Profiler2〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[333] レーザ熱衝撃疲労試験装置 一式 〔リンク〕

レーザ熱衝撃疲労試験装置 一式〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[334] 超微小硬度計 1式 〔リンク〕

島津製作所 DUH-211S特型 外〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[335] デジタル画像相関ひずみ計測システム 一式 〔リンク〕

Correlated Solutions 高解像度CCDカメラ 2台 外〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[336] MSEP-PVクラスタ

大亜真空〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[358] (米)Delta Micro Factory社製ハンディ3D

Artec Spider〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[365] 差動排気型光電子分光分析(XPS)装置

ScientaOmicron R4000-Hipp2型〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[366] 薄膜表面評価用インプレーンX線回折装置

リガク SmartLab 90TF〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[367] 微細表面構造計測顕微鏡

島津製作所 SFT-3500 MS-200AS〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[368] マクロトライボロジー試験機

BrukerAX UMT3-HTRD〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[369] 顕微赤外分光装置

日本分光 フーリエ変換赤外分光光度計(FT/IR-6300), 赤外顕微鏡(IRT-5000)〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[370] マイクロビッカース硬度計

島津製作所 HMV-21DT〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[371] 表面粗さ測定機

ミツトヨ SV-3100S4〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

[517] 共振ずり測定装置

アルバック理工 RSM-1〔設置部局:未来科学技術共同研究センター〕

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