国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

電気通信研究所

[026] 超精密格子定数測定用X線回折装置

SuperLab(リガク)〔設置部局:電気通信研究所〕

[027] 高分解能X線回折装置

X`Pert PRP MRD(PANalytical/Spectris(Philips Analytical))〔設置部局:電気通信研究所〕

[056] 電子ビーム蛍光X線解析システム②

電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600(日立)〔設置部局:電気通信研究所〕

[057] 電子ビーム蛍光X線解析システム③

X線励起蛍光X線元素分析装置(XRF) Supermini-M(リガク)〔設置部局:電気通信研究所〕

[097] 高分解能走査型電子顕微鏡

高分解能走査型電子顕微鏡(STEM) SU8000 Type1形(日立)〔設置部局:電気通信研究所〕

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム) 〔設置部局:電気通信研究所〕

[111] イオンビーム加工解析装置

N-Vision40(Carl Zeiss Microscopy) トリプルビーム方式 〔設置部局:電気通信研究所〕

[171] 無響室

(日本音響エンジニアリング)〔設置部局:電気通信研究所〕

[172] 防音シールド室

(日本音響エンジニアリング)〔設置部局:電気通信研究所〕

[309] 高清浄熱処理炉(3FCR)

東栄科学産業 WAF3000〔設置部局:電気通信研究所〕

[562] 走査型電子顕微鏡SEM(JSM-7401F)

日本電子 JSM-7401F [設置部局:電気通信研究所]

[563] アッシングシステム(PR500)

ヤマト科学 PR500 [設置部局:電気通信研究所]

[564] アッシングシステム(UV-1)

サムコ UV-1 [設置部局:電気通信研究所]

[565] プラズマアッシャー(V1000-TS)

ヤマト科学 V1000-TS [設置部局:電気通信研究所]

[566] マスクアライナ(MJB-4 090)

SUSS MJB-4 [設置部局:電気通信研究所]

[567] リソグラフィー関連(金属顕微鏡 MX50A/T)

オリンパス MX50A/T [設置部局:電気通信研究所]

[568] リソグラフィー関連(レーザー顕微鏡 1LM21)

レーザーテック 1LM21 [設置部局:電気通信研究所]

[569] リソグラフィー関連(SEM用スパッタ)

サンユー電子 SC-701AT [設置部局:電気通信研究所]

[570] リソグラフィー関連(スピンコーター 1H-360S(EBレジスト用))

ミカサ 1H-360S [設置部局:電気通信研究所]

[571] リソグラフィー関連(スピンコーター MS-A150(U4ベンチ))

ミカサ MS-A150 [設置部局:電気通信研究所]

[572] リソグラフィー関連(スピンコーター MS-A150(U13ベンチ))

ミカサ MS-A150 [設置部局:電気通信研究所]

[573] リソグラフィー関連(スピンコーター MS-A200(3FCR))

ミカサ MS-A200 [設置部局:電気通信研究所]

[575] リソグラフィー関連(ホットプレート HP-1SA (U4ベンチ))

アズワン HP-1SA [設置部局:電気通信研究所]

[576] リソグラフィー関連(ホットプレート HHP-230SQ (U13ベンチ))

アズワン HHP-230SQ [設置部局:電気通信研究所]

[577] リソグラフィー関連(CTA401 クールニクス サーキュレータ)

ヤマト科学 CTA401 [設置部局:電気通信研究所]

[578] リソグラフィー関連(クールビット(ACE-10AN))

KELK ACE-10AN [設置部局:電気通信研究所]

[579] リソグラフィー関連(超音波洗浄器(USK-2R))

アズワン USK-2R [設置部局:電気通信研究所]

[580] リソグラフィー関連(UVキュア (ホットプレート含む))

ウシオ電機 UIS-5011 MIKY-AGG01 [設置部局:電気通信研究所]

[581] リソグラフィー関連(ベーク炉)

ヤマト科学 ADP300 [設置部局:電気通信研究所]

[582] AFM(nano cute)

日立ハイテクサイエンス nano cute [設置部局:電気通信研究所]

[583] 接触段差計(DEKTAK XT-A)

Bruker DEKTAK XT-A [設置部局:電気通信研究所]

[585] スピンデバイス用リソグラフィ装置(マスク描画DWL200)

Heidelberg Instruments DWL200 [設置部局:電気通信研究所]

[586] スピンデバイス用リソグラフィ装置(アライナ)

SUSS MJB-3 [設置部局:電気通信研究所]

[587] ナノスピン熱処理装置(Si室)

システムサービス [設置部局:電気通信研究所]

[588] 分光エリプソ(Si室)

大塚電子 FE-5000 [設置部局:電気通信研究所]

[589] X線光電子分光装置(NOVA)(Si室)

島津製作所 AXIS-NOVA [設置部局:電気通信研究所]

[590] ワイドレンジナノ形状測定システム(Si室)

島津製作所 FT-3500 [設置部局:電気通信研究所]

[591] 4探針抵抗率測定器(Si室)

ナプソン RT-70/RG-7 [設置部局:電気通信研究所]

[592] SiO2加工ドライエッチング(Si室)

アネルバ [設置部局:電気通信研究所]

[593] 原子スケール評価分析システム(Si室)

Omicron [設置部局:電気通信研究所]

[594] ナノ・スピンメタルスパッタリングシステム(3FCR)

アネルバ EVP-38877 [設置部局:電気通信研究所]

[595] ボンダー(A408)

WEST・BOND 7476D [設置部局:電気通信研究所]

[596] スパッタ装置(3FCR)

アネルバ [設置部局:電気通信研究所]

[597] 金属蒸着装置(3FCR)

日本シード研究所 ESE-09 [設置部局:電気通信研究所]

[598] 高機能マイクロカー測定装置

ネオアーク BH-PI918M [設置部局:電気通信研究所]

[599] 多機能薄膜材料評価X線回折装置

Bruker D8 Discover [設置部局:電気通信研究所]

[600] 接触段差計

アルバック DekTak150 [設置部局:電気通信研究所]

[601] 半導体パラメータ・アナライザ

Agilent B1500A [設置部局:電気通信研究所]

[602] マスクアライナー(3FCR)

SUSS MicroTec MJB4 [設置部局:電気通信研究所]

[603] レーザー直接描画装置

ネオアーク DDB-201-TU375 [設置部局:電気通信研究所]

[604] 原子間力顕微鏡(Veeco)

Bruker Dimension Icon [設置部局:電気通信研究所]

[605] レーザー共焦点顕微鏡(Lasertec)

レーザーテック H1200 [設置部局:電気通信研究所]

[606] スピン材料微細加工装置(ANELVAミリング)

アネルバ EVP-38763 [設置部局:電気通信研究所]

[607] スピン材料微細加工装置(絶縁膜堆積)

アネルバ EVP-38779 [設置部局:電気通信研究所]

[608] 絶縁膜堆積CVD

アルバック CC-200 [設置部局:電気通信研究所]

[609] 磁性材料RIE(RIE#2)

アルバック NE-550 [設置部局:電気通信研究所]

[610] 非磁性金属・絶縁膜RIE(RIE#1)

アルバック NE-550 [設置部局:電気通信研究所]

[699] 中型ECR堆積装置

〔設置部局:電気通信研究所〕

[700] 小型ECR堆積装置

〔設置部局:電気通信研究所〕

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