[026] 超精密格子定数測定用Ｘ線回折装置

SuperLab(リガク)〔設置部局：電気通信研究所〕

[027] 高分解能Ｘ線回折装置

X`Pert PRP MRD(PANalytical/Spectris(Philips Analytical))〔設置部局：電気通信研究所〕

[056] 電子ビーム蛍光Ｘ線解析システム②

電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600(日立)〔設置部局：電気通信研究所〕

[057] 電子ビーム蛍光Ｘ線解析システム③

X線励起蛍光X線元素分析装置(XRF) Supermini-M(リガク)〔設置部局：電気通信研究所〕

[097] 高分解能走査型電子顕微鏡

高分解能走査型電子顕微鏡(STEM) SU8000 Type1形(日立)〔設置部局：電気通信研究所〕

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA（日本電子） 100keV電子ビーム（スポットビーム） 〔設置部局：電気通信研究所〕

[111] イオンビーム加工解析装置

N-Vision40（Carl Zeiss Microscopy） トリプルビーム方式 〔設置部局：電気通信研究所〕

[171] 無響室

（日本音響エンジニアリング）〔設置部局：電気通信研究所〕

[172] 防音シールド室

（日本音響エンジニアリング）〔設置部局：電気通信研究所〕

[309] 高清浄熱処理炉(3FCR)

東栄科学産業 WAF3000〔設置部局：電気通信研究所〕

[562] 走査型電子顕微鏡SEM（JSM-7401F)

日本電子 JSM-7401F　[設置部局：電気通信研究所]

[563] アッシングシステム（PR500）

ヤマト科学 PR500　[設置部局：電気通信研究所]

[564] アッシングシステム（UV-1)

サムコ UV-1　[設置部局：電気通信研究所]

[565] プラズマアッシャー(V1000-TS)

ヤマト科学 V1000-TS　[設置部局：電気通信研究所]

[566] マスクアライナ(MJB-4 090)

SUSS MJB-4　[設置部局：電気通信研究所]

[567] リソグラフィー関連（金属顕微鏡　MX50A/T）

オリンパス MX50A/T　[設置部局：電気通信研究所]

[569] リソグラフィー関連（SEM用スパッタ）

サンユー電子 SC-701AT　[設置部局：電気通信研究所]

[570] リソグラフィー関連（スピンコーター 1H-360S(EBレジスト用））

ミカサ 1H-360S　[設置部局：電気通信研究所]

[571] リソグラフィー関連（スピンコーター MS-A150(U4ベンチ)）

ミカサ MS-A150　[設置部局：電気通信研究所]

[572] リソグラフィー関連（スピンコーター MS-A150(U13ベンチ)）

ミカサ MS-A150　[設置部局：電気通信研究所]

[573] リソグラフィー関連（スピンコーター MS-A200(3FCR)）

ミカサ MS-A200　[設置部局：電気通信研究所]

[574] リソグラフィー関連（ホットプレート PMC720(EBレジスト用））

PMC720　[設置部局：電気通信研究所]

[575] リソグラフィー関連（ホットプレート HP-1SA (U4ベンチ)）

アズワン HP-1SA　[設置部局：電気通信研究所]

[576] リソグラフィー関連（ホットプレート HHP-230SQ (U13ベンチ)）

アズワン HHP-230SQ　[設置部局：電気通信研究所]

[577] リソグラフィー関連（CTA401 クールニクス サーキュレータ）

ヤマト科学 CTA401　[設置部局：電気通信研究所]

[578] リソグラフィー関連（クールビット(ACE-10AN)）

KELK ACE-10AN　[設置部局：電気通信研究所]

[580] リソグラフィー関連（UVキュア (ホットプレート含む））

ウシオ電機 UIS-5011 MIKY-AGG01　[設置部局：電気通信研究所]

[579] リソグラフィー関連（超音波洗浄器(USK-2R)）

アズワン USK-2R　[設置部局：電気通信研究所]

[581] リソグラフィー関連（ベーク炉）

ヤマト科学 ADP300　[設置部局：電気通信研究所]

[582] AFM(nano cute)

日立ハイテクサイエンス nano cute　[設置部局：電気通信研究所]

[583] 接触段差計（DEKTAK XT-A)

Bruker DEKTAK XT-A　[設置部局：電気通信研究所]

[584] サブミクロンマスクアライメント（旧ズースコンタクトアライナ）

SUSS MJB-3　[設置部局：電気通信研究所]

[585] スピンデバイス用リソグラフィ装置（マスク描画DWL200）

Heidelberg Instruments DWL200　[設置部局：電気通信研究所]

[586] スピンデバイス用リソグラフィ装置（アライナ）

SUSS MJB-3　[設置部局：電気通信研究所]

[587] ナノスピン熱処理装置（Si室）

システムサービス　[設置部局：電気通信研究所]

[588] 分光エリプソ（Si室）

大塚電子　FE-5000　[設置部局：電気通信研究所]

[589] X線光電子分光装置（NOVA)（Si室）

島津製作所　AXIS-NOVA　[設置部局：電気通信研究所]

[590] ワイドレンジナノ形状測定システム（Si室）

島津製作所　FT-3500　[設置部局：電気通信研究所]

[591] 4探針抵抗率測定器（Si室）

ナプソン　RT-70/RG-7　[設置部局：電気通信研究所]

[592] SiO2加工ドライエッチング（Si室）

アネルバ　[設置部局：電気通信研究所]

[593] 原子スケール評価分析システム（Si室）

Omicron　[設置部局：電気通信研究所]

[594] ナノ・スピンメタルスパッタリングシステム（3FCR)

アネルバ　EVP-38877　[設置部局：電気通信研究所]

[595] ボンダー（A408）

WEST・BOND　7476D　[設置部局：電気通信研究所]

[596] スパッタ装置（3FCR)

アネルバ　[設置部局：電気通信研究所]

[598] 高機能マイクロカー測定装置

ネオアーク BH-PI918M　[設置部局：電気通信研究所]

[599] 多機能薄膜材料評価X線回折装置

Bruker D8 Discover　[設置部局：電気通信研究所]

[600] 接触段差計

アルバック　DekTak150　[設置部局：電気通信研究所]

[601] 半導体パラメータ・アナライザ

Agilent B1500A　[設置部局：電気通信研究所]

[602] マスクアライナー（3FCR）

SUSS MicroTec　MJB4　[設置部局：電気通信研究所]

[603] レーザー直接描画装置

ネオアーク　DDB-201-TU375　[設置部局：電気通信研究所]

[604] 原子間力顕微鏡（Veeco）

Bruker　Dimension Icon　[設置部局：電気通信研究所]

[605] レーザー共焦点顕微鏡（Lasertec）

レーザーテック　H1200　[設置部局：電気通信研究所]

[606] スピン材料微細加工装置(ANELVAミリング)

アネルバ EVP-38763　[設置部局：電気通信研究所]

[607] スピン材料微細加工装置(絶縁膜堆積)

アネルバ EVP-38779　[設置部局：電気通信研究所]

[608] 絶縁膜堆積CVD

アルバック　CC-200　[設置部局：電気通信研究所]

[609] 磁性材料RIE(RIE#2)

アルバック　NE-550　[設置部局：電気通信研究所]

[610] 非磁性金属・絶縁膜RIE(RIE#1)

アルバック　NE-550　[設置部局：電気通信研究所]

[699] 中型ECR堆積装置

〔設置部局：電気通信研究所〕

[700] 小型ECR堆積装置

〔設置部局：電気通信研究所〕

[702] 電顕用イオンミリング加工装置

日本電子 GATAN　PIPS691〔設置部局:工学研究科〕

[703] 超低振動無冷媒オプティカル・クライオスタットs50

Montana Instruments〔設置部局:電気通信研究所〕

[724] X線回折装置

リガク RINT2200〔設置部局:電気通信研究所〕

[725] オートマチックダイシングソー

ディスコ　DAD-522〔設置部局:電気通信研究所〕

[726] デジタルマイクロスコープ

キーエンス VHX600〔設置部局:電気通信研究所〕

[727] 大気下光電子分光装置

日立 AC-2〔設置部局:電気通信研究所〕