国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[363] Vapor HFエッチング装置 〔リンク〕

仕様・形式について

Primaxx uEtch Module TO-α 【仕様・特徴】気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング


[363] Vapor HFエッチング装置  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。

設置キャンパス

その他 西澤潤⼀記念研究センター研究棟2階
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[363] Vapor HFエッチング装置  〔リンク〕 所在地マップ
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