国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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[361] 多元材料原子層堆積(ALD)装置 〔リンク〕

仕様・形式について

テクノファイン ALK-600 【仕様・特徴】アルミナ等のALDが可能。6インチウェハまでの導⼊が可能。アルミナ以外は、要原料。


[361] 多元材料原子層堆積(ALD)装置  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本設備・装置の利用申込は、「ナノテク融合技術支援センター(CINTS)」からお願いいたします。

設置キャンパス

その他 西澤潤⼀記念研究センター研究棟3階
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[361] 多元材料原子層堆積(ALD)装置  〔リンク〕 所在地マップ
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