国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[278] 芝浦 スパッタ装置 〔リンク〕

仕様・形式について

芝浦メカトロニクス CFS-4ESII 【仕様・特徴】基板ステージφ200mm、3インチターゲット×3、基板加熱形(最高300℃)


[278] 芝浦 スパッタ装置  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本学に別途設置されている「 ナノテク融合技術支援センター【微細加工分野】 」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。

設置キャンパス

その他 マイクロシステム融合研究開発センター西澤センター研究棟2階
アクセス方法はこちら

[278] 芝浦 スパッタ装置  〔リンク〕 所在地マップ
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