国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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[249] マスク露光システム装置 〔リンク〕

仕様・形式について

SUSS MicroTec MA8 Gen3 Thu1


[249] マスク露光システム装置  〔リンク〕 画像

受付窓口

田中(秀)研究室
担当者:平野栄樹(6936)に直接連絡

備考

利用は本学関係者に限る、安全講習受講が利用条件。

設置キャンパス

青葉山キャンパス 工学研究科・工学部 機械・知能系 共同棟クリーンルーム
アクセス方法はこちら

[249] マスク露光システム装置  〔リンク〕 所在地マップ
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