国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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研究設備・機器

[248] 住友 PECVD 〔リンク〕

仕様・形式について

住友精密 MPX-CVD 【仕様・特徴】SiN、SiO2、最高温度:350℃、低応力SiN成膜


[248] 住友 PECVD  〔リンク〕 画像

受付窓口

備考

本学に別途設置されている「ナノテク融合技術支援センター」での手続きに沿って使用申込みをしていただくことになりますので、上記受付窓口リンクページをご確認ください。

設置キャンパス

その他 西澤潤一記念研究センター
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[248] 住友 PECVD  〔リンク〕 所在地マップ
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