国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

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[110] 電子ビーム描画装置

仕様・形式について

JBX-9000ZB(日本電子) 50keV電子ビーム(可変成形ビーム)


[110] 電子ビーム描画装置 画像

受付窓口

備考

本設備の詳細情報は、以下のリンク先よりご確認いただけます。
学内利用者向け 設備・機器詳細ページ
学外利用者向け 設備・機器詳細ページ

設置キャンパス

片平キャンパス 電気通信研究所 ナノ・スピン総合研究棟 1階クリーンルーム
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[110] 電子ビーム描画装置 所在地マップ
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