国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

クリーンルーム内設備・装置

[113] ウェットベンチ(無機用・高清浄)

HNCD-4-SL #1(日立プラント)

[114] ウェットベンチ(無機用・汎用)

HNCD-4-SL #2(日立プラント)

[115] ウェットベンチ(無機用・メタル専用)

HNCD-4-SL #3(日立プラント)

[117] 特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置

200SP(エス・イー・エス)

[118] KrFステッパ

FPA3000-EX3(キヤノン)

[119] コータデベロッパ

Mark8(東京エレクトロン)

[120] アライナー

EMA-400(ユニオン光学)

[121] 中電流イオン注入装置

EXCEED2300AH(日新イオン機器)

[122] 低温拡散炉、水素処理炉

東京エレクトロン BEOL炉(α-8SE)

[123] プラズマ酸化・窒化

RLSA 2B(東京エレクトロン)

[124] LPCVD装置

Formula(東京エレクトロン)

[125] マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)

LT-PECVD(東京エレクトロン)

[126] 常圧CVD装置

PYROX-216E(TEMPRESS)

[127] マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置

(東京エレクトロン)

[132] 特殊型室温枚葉洗浄装置A

金属薄膜用洗浄装置(リアライズ ・アドバンストテクノロジ)

[133] 特殊型密閉型洗浄装置B

(リアライズ・アドバンストテクノロジ)

[134] 電子ビーム露光装置

CABL-9520CE(クレステック)

[135] RTA装置B

RLA-1208-V(光洋サーモシステム)

[137] 高温熱処理装置(1200℃)

VD-8-300S(V&Hテクノロジーズ)

[142] クラスタスパッタ装置

IZU-2500H(和泉テック)

[151] CMP装置(1)

APD-800X(ARACA)

[152] CMP装置(2)

APD-800X(ARACA)

[154] CMP後洗浄装置

(リアライズ ・アドバンストテクノロジ)

[155] 蛍光X線分析装置(XRF)

SEA1000A(日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ・ナノテクノロジー))

[156] パーティクル検査装置A

WM2500(トプコン)

[157] XRD

X'pert MRD(PANalytical/Spectris)

[158] 分光エリプソメトリー

UVISEL/M200-VIS(堀場製作所)

[159] 低温プローバ

ARK-LIPS(ナガセ電子機器(ナガセテクノエンジニアリング))

[160] ソーラシミュレータ

WXS-90S-L2(ワコム電創)

[161] FE-SEM

JSM-6700F(日本電子)

[162] 顕微鏡

MX50(オリンパス)

[163] 抵抗率測定器

VR-120S(国際電気アルファ(日立国際電気))

[164] 全反射蛍光X線装置

TREX610T(テクノス)

[165] 段差計

DECTAK(Bruker Nano)

[166] 300mm高周波対応マニュアルプローバ

S300M-973(ベクターセミコン)

[168] 薄膜密度計

MH4000(NEC三栄)

[169] n&k測定装置

(n&k Technology)

[170] 水銀プローブ

CVmap92A(雄山)

[243] 超高真空CVD装置 〔リンク〕

エア・ウォーター VCE-S2103TH

[248] プラズマCVD装置 〔リンク〕

住友精密工業 2-2 Multiplex-CVD

[250] 減圧熱CVD装置 〔リンク〕

デジタルドメイン

[284] イオン注入装置 〔リンク〕

アルバック IMX-3500

[306] ニュートラルビーム装置

ユーテック 19-052PC-8

[308] 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

日立ハイテクノロジーズ S-5200

[341] MOCVD装置 〔リンク〕

ワコム研究所製 Doctor-T

[342] EB描画装置 〔リンク〕

エリオニクス ELS-G125S

[344] マイクロX線CT 〔リンク〕

コムスキャンテクノ ScanXmate-D160TS110

[345] 熱電子SEM 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ S-3700N型・堀場製作所 EMAX Energy

[346] 超音波顕微鏡 〔リンク〕

インサイト IS-350型 S-U

[360] 両面マスクアライナ 〔リンク〕

SUSS Micro Tec SUSS MA6/BA6 SPEC TOU-2

[362] ME-RIE装置 〔リンク〕

立山マシン TEP-01C1

[364] 芝浦スパッタ装置(冷却形) 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス CFS-4ES-C.T.

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