国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

研究設備・機器

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研究設備・機器

(微細)加工・工作・処理

[108] 光学薄膜作製装置

HPS-510S、EGK-3M(アルバック)

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム)

[110] 電子ビーム描画装置

JBX-9000ZB(日本電子) 50keV電子ビーム(可変成形ビーム)

[128] 粉末硬化型カラー造形装置一式

Projet 460 Plus(3D Systems)

[191] 電子ビーム描画装置

ELS-7500EX(電子ビーム加速電圧:50kV)

[194] 超微細インクジェット装置

SIJテクノロジ PR-150THU型

[242] レーザー直線描画装置 一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik DWL2000SD

[297] テトラアーク型単結晶引上装置

ジー・イー・エス TAC-32109

[340] マルチウェイ蒸着装置 一式

パスカル ST-LMBE/BJ0220

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リンク

東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

大学連携研究設備ネットワーク

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