国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

(微細)加工・工作・処理

[108] 光学薄膜作製装置

HPS-510S、EGK-3M(アルバック)

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム)

[110] 電子ビーム描画装置

JBX-9000ZB(日本電子) 50keV電子ビーム(可変成形ビーム)

[128] 粉末硬化型カラー造形装置一式

Projet 460 Plus(3D Systems)

[191] 電子ビーム描画装置

ELS-7500EX(電子ビーム加速電圧:50kV)

[194] 超微細インクジェット装置

SIJテクノロジ PR-150THU型

[242] レーザー直線描画装置 一式 〔リンク〕

Heidelberg Instruments Mikrotechnik DWL2000SD

[481] ディスコ ダイサ 〔リンク〕

ディスコ DAD522 【仕様・特徴】切削水:水道水

[486] サンドブラスト 〔リンク〕

新東 【仕様・特徴】ガラスの穴あけ加工

[492] ウォーターレーザ 〔リンク〕

澁谷工業 LAMICS AQL-1900 【仕様・特徴】シリコンウェハや金属薄板の加工(ガラスなどの透明材料はNG)、最小加工線幅:約70μm

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リンク

東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

産学連携機構

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