国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

種類別

キャンパス別

部局別

研究設備・機器

マイクロシステム融合研究開発センター

[341] MOCVD装置 〔リンク〕

ワコム研究所製 Doctor-T

[342] EB描画装置 〔リンク〕

エリオニクス ELS-G125S

[344] マイクロX線CT 〔リンク〕

コムスキャンテクノ ScanXmate-D160TS110

[345] 熱電子SEM 〔リンク〕

日立ハイテクノロジーズ S-3700N型・堀場製作所 EMAX Energy

[346] 超音波顕微鏡 〔リンク〕

インサイト IS-350型 S-U

[360] 両面マスクアライナ 〔リンク〕

SUSS Micro Tec SUSS MA6/BA6 SPEC TOU-2

[362] ME-RIE装置 〔リンク〕

立山マシン TEP-01C1

[364] 芝浦スパッタ装置(冷却形) 〔リンク〕

芝浦メカトロニクス CFS-4ES-C.T.

学内専用ページ

リンク

東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

大学連携研究設備ネットワーク

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