国立大学法人東北大学研究推進・支援機構 テクニカルサポートセンター 設備・機器利用システム

登録研究設備・機器

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研究設備・機器

電気通信研究所

[027] 高分解能X線回折装置

X`Pert PRP MRD(PANalytical/Spectris(Philips Analytical))

[056] 電子ビーム蛍光X線解析システム②

電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600(日立)

[057] 電子ビーム蛍光X線解析システム③

X線励起蛍光X線元素分析装置(XRF) Supermini-M(リガク)

[097] 高分解能走査型電子顕微鏡

高分解能走査型電子顕微鏡(STEM) SU8000 Type1形(日立)

[108] 光学薄膜作製装置

HPS-510S、EGK-3M(アルバック)

[109] ナノ・スピンメモリ回路用電子線描画システム

JBX-9300SA(日本電子) 100keV電子ビーム(スポットビーム)

[110] 電子ビーム描画装置

JBX-9000ZB(日本電子) 50keV電子ビーム(可変成形ビーム)

[111] イオンビーム加工解析装置

N-Vision40(Carl Zeiss Microscopy) トリプルビーム方式

[171] 無響室

(日本音響エンジニアリング)

[172] 防音シールド室

(日本音響エンジニアリング)

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